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微纳电子技术 2006年第05期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志MEMS专辑

基于MEMS的TiNi形状记忆合金薄膜研究进展第209-213页

关键词: tini合金；  薄膜；  微机电系统；  

MEMS波长可调谐激光器及其进展第214-218页

关键词: 微电子机械系统；  波长可调谐；  激光器；  

冻结开关控制生物网络液休电路中的信号传输第219-227页

关键词: 生物网络；  湿性电路；  液体电路；  半导体制冷片；  纳米电开关；  冻结及融化；  

毛细作用驱动的MEMS流休自组装模拟仿真第228-232页

关键词: 自组装；  微机电系统；  毛细作用；  模拟仿真；  

DSMC方法在微小喷管流场模拟中的应用第233-236页

关键词: 蒙特卡罗直接模拟法；  微喷管；  流场；  

本刊进入中国科技核心期刊的行列第236-236页

平面五杆柔顺并联机构的多稳态特征综合第237-243页

关键词: 柔顺机构；  并联机构；  多稳态；  综合；  

基于能量法的微驱动器静电弹性耦合分析第244-246页

关键词: 静电驱动；  薄板理论；  

多晶SiC梳齿驱动器的模态分析第247-250页

关键词: 多晶碳化硅；  梳齿驱动器；  模态分析；  极端环境；  

扭臂式静电微驱动器的pull—in现象分析第251-253页

关键词: 微驱动器；  静电驱动；  扭臂；  

微机械光学器件第253-253页

关键词: 微光学器件；  微机械；  外腔激光器；  光学元件；  技术制作；  mems；  变焦透镜；  光编码器；  扫描器；  斩光器；  

基于MEMS技术的无线加速度测量系统第254-257页

关键词: 微机电系统；  adxl202；  微加速度计；  无线通信技术；  加速度无线测量系统；  

名词术语释义——CMOS MEMS工艺第257-257页

关键词: mems工艺；  cmos；  术语释义；  传感器结构；  名词；  mems器件；  数字信号处理；  结构构造；  半导体材料；  制作技术；  

微纳电子技术杂志业界快讯

业界快讯第258-260页

关键词: technology；  mems技术；  surface；  systems；  cmos工艺；  生产设备；  光掩模；  soc；  低功耗；  飞利浦；