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微纳电子技术 2006年第08期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

中美纳电子技术发展对比研究第357-360页

关键词: 纳电子技术；  策略；  电子学；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

共振隧穿二极管的材料结构设哥——共振隧穿器件讲座（5）第361-365页

关键词: 共振隧穿二极管；  材料结构设计；  分子束外延；  

RTD的器件结构及制造工艺——共振隧穿器件讲座（6）第366-371页

关键词: 器件结构；  制造工艺；  台面和平面结构；  混合集成；  空气桥；  共振隧穿器件；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

一维磁纳米线阵列的制备及其应用第372-376页

关键词: 磁纳米线；  阵列；  磁各向异性；  制备；  应用；  

高温超导YBCO薄膜及其制备第377-381页

关键词: ybco薄膜；  临界电流密度；  临界温度；  制备方法；  

反应溅射法沉积氧化铈过渡层研究第382-385页

关键词: 双轴织构；  氧化铈；  反应溅射；  过渡层；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

仿壁虎微纳米粘附阵列研究进展第386-392页

关键词: 壁虎粘附；  仿生粘着剂；  微纳米绒毛阵列；  

微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究第393-396页

关键词: 倾角仪；  微机电系统；  温度补偿；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

ULSI多层互连中的化学机械抛光工艺第397-401页

关键词: 化学机械抛光；  多层互连；  抛光液；  二氧化硅；  铜；  钨；  

高透过率、高分辨率纳米微探针的制备第402-404页

关键词: 近场扫描光学显微镜；  光纤探针；  化学腐蚀；  激光消融；  

国家半导体器件质量监督检验中心 中国实验室国家认可委员会认可实验室 中电科技半导体器件可靠性中心 国防科技工业实验室认可委员会认可实验室第F0004-F0004页

关键词: 中国实验室国家认可委员会；  质量监督检验中心；  半导体器件；  国防科技工业；  实验室认可；  中国电子科技集团公司；  可靠性；  管理委员会；  国家计量认证；  信息产业部；