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微纳电子技术 2007年第04期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

小型化牵动下的硬盘技术（续）第165-169页

关键词: 硬盘技术；  小型化；  磁头；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

基于量子细胞自动机的设计方法第170-174页

关键词: 纳电子器件；  量子细胞自动机；  设计方法；  

SET／CMOS混合器件研究第175-177页

关键词: 纳米管；  纳米线；  单电子晶体管；  金属氧化物半导体场效应晶体管；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

硬脂酸表面修饰TiO2的合成及表征第178-181页

关键词: 二氧化钛；  表面修饰；  硬脂酸；  纳米粒子；  

多孔硅薄膜微结构的分形特性第182-185页

关键词: 多孔硅；  微结构；  分形；  分形维数；  

AlGaN／GaN HEMT材料外延技术研究第186-189页

关键词: 金属有机物化学气相淀积；  蓝宝石；  碳化硅；  高电子迁移率晶体管；  在位监测；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

CMOS硅风速传感器热性能的分析第190-194页

关键词: 二维风速传感器；  恒温差模式；  恒定功率模式；  有限元分析；  

基于MEMS的一种微机械滤波器的分析第195-199页

关键词: 微机械滤波器；  表面微加工；  微机电系统工艺；  共振；  

微纳电子技术杂志业界快讯

JS3S-80B磁控溅射台研制成功第199-199页

关键词: 磁控溅射；  电子工程系；  清华大学；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

角度定量化估算软光刻PDMS印章的平面变形扭曲第200-205页

关键词: 扭曲；  pdms印章；  角度量化；  硅烷修饰玻璃；  软光刻技术；  

硅片研磨和研磨液作用的分析第206-210页

关键词: 研磨液；  分子结构；  表面张力；  活性剂；  硅片；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

铜互连电迁移失效的研究与进展第211-216页

关键词: 铜互连；  电迁移；  界面扩散；  失效；  

微纳电子技术杂志业界快讯

业界快讯第217-218页

关键词: nand闪存；  工艺成本；  nikon；  制造工艺；  碳纳米管；  光刻胶；  ibm；  amd；  

AXCELIS公司专题新闻第219-219页

关键词: 新闻；  专题；  技术设备；  芯片生产商；  imax；  注入机；  存储器；  电荷；  

《微纳电子技术》征稿启事第220-220页