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微纳电子技术 2007年第07期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志传感器理论及工艺

硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析第1-2页

关键词: 单晶硅；  化学机械抛光；  平坦化；  

差压式流量传感器的数值模拟与优化设计第3-6页

关键词: 锥体差压式流量传感器；  数值模拟；  流出系数；  等效直径比；  前后锥角；  

Cl2/Ar/BCl3ICP刻蚀AlGaN的研究第7-9页

关键词: 感应耦合等离子体；  铝镓氮；  扫描电镜；  俄歇电子能谱；  

微型气流陀螺敏感机理的有限元分析第10-11页

关键词: 敏感机理；  有限元法；  微型气流陀螺；  

呼吸信号检测方法的研究第12-16页

关键词: 呼吸信号；  传感器；  检测仪器；  

谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化第17-19页

关键词: 微机械加速度计；  微杠杆；  建模；  优化设计；  

硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理第20-21页

关键词: 谐振式传感器；  微机电系统；  闭环系统；  组合敏感原理；  

FBG传感器封装工艺对交叉敏感问题的影响第22-24页

关键词: 光纤光栅；  应变；  温度；  交叉敏感；  

低轨道卫星表面充电模拟第25-27页

关键词: 表面充电；  低轨道；  尾迹效应；  

单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究第28-30页

关键词: 多电极石英谐振器；  表面处理；  差频补偿；  

汽车动态称重信号的自适应校正应用研究第31-33页

关键词: 汽车动态称重；  自适应补偿；  称重传感器；  

柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现第34-36页

关键词: 微机电系统；  柔性机构；  微杠杆机构；  有限元法；  遗传算法；  

一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究第37-39页

关键词: 微电子机械系统；  硅深刻蚀；  刻蚀损伤；  

微声学器件封装特性研究第40-42页

关键词: 微声学器件；  封装；  指向性；  

GMM，PZT和弹性基板复合磁电耦合效应研究第43-44页

关键词: 磁电耦合效应；  磁致伸缩材料；  压电材料；