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微纳电子技术 2008年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

从MEMS到NEMS进程中的技术思考第1-5页

关键词: 微电子机械系统；  纳电子机械系统；  nm尺度效应；  

微纳电子技术杂志本刊最新消息

《微纳电子技术》专家信息库建立第5-5页

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

共振隧穿二极管型光探测器和光调制器第6-11页

关键词: 共振隧穿二极管；  光电器件；  光探测器；  光调制器；  

4H-SiCMESFET结构与直流特性研究第12-14页

关键词: 凹栅；  埋栅；  表面陷阱；  

亚65nm静态随机存储器稳定性提高技术第15-19页

关键词: 静态随机存储器；  工艺变化；  读写裕度；  读写辅助电路；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

单壁碳纳米管能隙的密度泛函研究第20-24页

关键词: 能隙；  单壁碳纳米管；  广义梯度近似；  局域梯度近似；  

形状控制微波合成四方形纳米PbS第25-27页

关键词: 微波辐射；  硫化铅纳米晶；  形状控制合成；  十六烷基三甲基溴化铵；  

纳米TiO2的光催化机理及其影响因素分析第28-32页

关键词: 二氧化钛；  光催化技术；  纳米材料；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

微流动的尺寸效应第33-37页

关键词: 尺寸效应；  微尺度；  微流动；  微机电系统；  

微纳电子技术杂志本刊最新消息

《微纳电子技术》第二届编辑委员会正式成立第37-37页

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

基于MEMS技术的光学读出红外成像系统第38-44页

关键词: 微机电系统；  光学读出热成像；  衍射光栅；  图像重建；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

聚合物微纳结构热压机的温度控制策略研究第45-50页

关键词: 热压；  温度控制；  系统辨识；  pid控制器；  

蓝宝石衬底nm级CMP技术研究第51-54页

关键词: 蓝宝石；  化学机械抛光；  表面状态；  粗糙度；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

基于数字锁相环的新型频相检测方法研究第55-58页

关键词: 数字锁相环；  数字鉴相器；  环路滤波器；  

微纳电子技术杂志国际视点

MEMS干法技术新进展第59-59页

关键词: mems；  干法技术；  半导体工业；  干法工艺；  湿法工艺；  表面涂层；  革命性；  制造业；