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微纳电子技术杂志

微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

主管单位:中国电子科技集团公司  主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所

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微纳电子技术 2008年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛
集成化离子敏场效应传感器的研究进展第63-68页
关键词: 离子敏场效应晶体管;  传感器;  敏感膜;  集成化;  读出电路;  
微纳电子技术杂志纳米器件与技术
缺陷富勒烯C20分子器件的电子输运研究第69-73页
关键词: 富勒烯c20;  分子器件;  密度泛函理论;  非平衡格林函数;  电子输运;  
下期部分目次预告第73-73页
SOI CMOS器件研究第74-77页
关键词: 绝缘体上硅;  全耗尽器件;  电流驱动能力;  双多晶硅栅;  
单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究第78-82页
关键词: 单壁碳纳米管;  碳纳米管场效应晶体管;  肖特基势垒;  超声纳米焊接;  原位生长;  
微纳电子技术杂志纳米材料与结构
磁控溅射和氨化法生长GaN纳米棒及其特性第83-86页
关键词: 氮化镓;  溅射;  纳米棒;  单晶;  催化剂;  
离子掺杂对提高锐钛型TiO2高热稳定性的影响第87-90页
关键词: 锐钛矿相纳米tio2;  强迫水解法;  相变;  离子掺杂;  高热稳定性;  
锗纳米线的性能与应用第91-96页
关键词: 锗纳米线;  场效应晶体管;  缺陷;  欧姆接触;  钝化;  
电化学刻蚀半导体的结构分析第97-99页
关键词: 电化学刻蚀;  多孔硅;  电流控制模型;  晶格极化;  形貌;  
微纳电子技术杂志MEMS器件与技术
一种新型解耦硅微机械陀螺的设计第100-103页
关键词: 微机械陀螺;  解耦;  有限元法;  栅状电极;  梳齿结构;  
基于MEMS技术的电容式微型真空传感器第104-108页
关键词: 微机电系统;  传感器;  自停止;  阳极键合;  三明治结构;  
微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备
制备工艺对多孔阳极氧化铝模板的影响第109-113页
关键词: 阳极氧化铝模板;  纳米孔;  草酸溶液;  二次氧化;  阴阳极间距;  
镁合金抛光机理与CMP工艺研究第114-117页
关键词: 化学机械抛光;  抛光机理;  抛光速率;  抛光液;  
微纳电子技术杂志微电子器件与技术
基于耗尽型工艺的锂电池充电保护芯片设计第118-122页
关键词: 耗尽型;  互补金属氧化物半导体;  低功耗;  电压源;  过充电;  过放电;  
微纳电子技术杂志国际视点
Yole Développement公司预测未来4年微流体技术的发展趋势第123-123页
关键词: 流体技术;  发展趋势;  预测;  市场分析报告;  咨询公司;  mems;  市场行情;  研发机构;