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微纳电子技术 2008年第03期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

纳米磁多层结构中电流驱动自旋波发射第125-130页

关键词: 自旋波发射；  自旋矩传输；  巨磁阻；  电流驱动；  纳米磁多层结构；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

基于Pspice的RTD等效模型及其应用电路研究第131-135页

关键词: 共振隧穿二极管；  pspice；  等效模型；  应用电路；  振荡电路；  

双色量子阱红外探测器中的耦合光栅第136-139页

关键词: 量子阱红外探测器；  耦合效率；  光栅设计；  双色；  双周期；  

基于SWB环境下的nm级NMOS虚拟优化第140-144页

关键词: 纳米层次；  可制造性设计；  虚拟工厂；  工艺优化；  集成电路；  

下期部分目次预告第144-144页

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

纳米TiO2光催化剂的改性及应用研究进展第145-152页

关键词: 二氧化钛；  纳米；  光催化剂；  掺杂；  改性；  

名词术语释义——纳米光催化技术第152-152页

关键词: 纳米光催化技术；  术语释义；  名词；  tio2颗粒；  光触媒技术；  无机污染物；  有机污染物；  

GaN基材料及其外延生长技术研究第153-157页

关键词: 氮化镓；  金属有机物化学气相淀积；  分子束外延；  氢化物气相外延；  缓冲层；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

高场非对称波形离子迁移谱仪的初步研究第158-161页

关键词: 高场非对称波形离子迁移谱；  微电子机械系统；  补偿电压；  分辨率；  灵敏度；  

仿壁虎微米阵列的加工及其粘附作用分析第162-165页

关键词: 微机电系统；  仿壁虎粘附阵列；  微米阵列；  粘附性能；  接触机理；  

直流电渗流在微通道内的控制与仿真研究第166-169页

关键词: 双电层；  zeta电势；  微流控；  电渗流；  仿真研究；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

SU-8胶微结构的显影技术研究第170-173页

关键词: 紫外liga；  显影；  微结构；  图形特征；  

三维金属MEMS器件电化学制造技术第174-178页

关键词: 电化学制造技术；  微机电系统；  实时掩模；  三维微结构；  分层技术；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

Cu金属化系统双扩散阻挡层的研究第179-182页

关键词: cu互连；  氮氧化硅；  钽；  扩散阻挡层；  二次离子质谱仪；  x射线衍射仪；  

微纳电子技术杂志国际视点

采用Chip-on—MEMS封装制作传感器件第183-183页

关键词: mems封装；  传感器件；  制作；  晶片级封装；  mems器件；  制造技术；  ti公司；  批量生产；