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微纳电子技术 2008年第06期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

P型ZnO薄膜制备的研究进展第311-317页

关键词: zno薄膜；  p型掺杂；  自补偿；  共掺杂；  ib族元素掺杂；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

X波段大功率GaN HEMT的研制第318-321页

关键词: 氮化镓基高电子迁移率晶体管；  x波段；  输出功率；  功率增益；  功率附加效率；  

S波段系列SiC MESFET器件研制第322-325页

关键词: 碳化硅；  s波段；  功率器件；  功率密度；  

带间共振隧穿二极管（RITD）第326-333页

关键词: ritd；  ritd物理模型；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

晶粒度对纳米铜粉抗氧化能力的影响第334-337页

关键词: 纳米铜粉；  液相还原；  硼氢化钾；  维生素c；  抗氧化能力；  

室温光荧光谱分析中的几个典型问题第338-341页

关键词: 光荧光扫描；  多量子阱；  厚度干涉条纹；  透明衬底；  室温；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

高隔离度X波段RF MEMS电容式并联开关第342-346页

关键词: 射频微机电系统；  开关；  隔离度；  x波段；  衬底刻槽；  

X波段MEMS可变电容的设计与制作第347-350页

关键词: 可变电容；  压控振荡器；  q值；  静电力；  射频微机电系统；  

基于MS5534B的气压高度计系统的设计第351-355页

关键词: 高度计；  微机电系统；  ms5534b；  串行外设接口；  温度补偿；  

柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析第356-360页

关键词: 微型驱动器；  电磁驱动；  硅橡胶；  数值模拟；  电镀；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

传统光学光刻的极限及下一代光刻技术第361-365页

关键词: 传统光学投影光刻；  分辨力；  物理极限；  下一代光刻；  主流技术；  

声表面波器件电子束淀积Al膜研究第366-369页

关键词: 声表面波器件；  al膜；  电子束淀积；  均匀性；  准确性；  

微纳电子技术杂志国际视点

趋势预测第370-372页

关键词: 纳米科技产品；  预测；  专题报道；  市场份额；  商业化；  投资额；  投资者；  世界；  

产品第372-372页

关键词: 产品；  热控制系统；  半导体公司；  hvac；  陀螺仪；  研发；  

市场第372-372页

关键词: systems公司；  市场；  半导体公司；  micro；  生产线；