微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2008年第08期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

MBE自组装量子点生长和结构形态研究第435-439页

关键词: 分子束外延；  sk生长模式；  量子点；  形态和生长；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

等平面化SiCMESFET的研制第440-443页

关键词: 金属消特基势垒场效应晶体管；  高增益；  功率附加效率；  大功率；  等平面化；  侧壁钝化；  

808nm大功率连续半导体激光器研究第444-447页

关键词: 金属有机物化学气相淀积；  压应变；  半导体激光器；  腔面反射率；  斜率效率；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

C20富勒烯分子及异构体的密度泛函方法研究第448-452页

关键词: 富勒烯c20分子；  异构体；  几何结构；  能级；  振动光谱；  

下期部分目次预告第452-452页

表面活性剂在纳米材料合成中的应用第453-457页

关键词: 表面活性剂；  分散；  机理；  纳米材料；  表面改性；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

Si基SiC微通道及其制备工艺第458-461页

关键词: 微流体；  微通道；  碳化硅；  化学气相沉积；  模板；  单体；  

Si微电容式加速度计动态参数的提取第462-465页

关键词: 静电激励；  微机电系统；  加速度计；  电容；  动态参数；  

MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究第466-469页

关键词: 微电机系统；  压阻；  加速度传感器；  阻尼；  圆片级封装；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

分子束外延InAs量子点的RHEED实时原位分析第470-475页

关键词: 分子束外延；  inas量子点；  反射式高能电子衍射；  实时原位；  微结构分析；  

GaAsPHEMT栅选择腐蚀工艺研究第476-479页

关键词: 选择腐蚀；  赝配高电子迁移率晶体管；  腐蚀终止层；  砷化镓；  凹槽；  

双层侧壁保护的Si深槽刻蚀技术第480-483页

关键词: 感应耦合等离子体；  硅；  双层侧壁保护；  各向异性刻蚀；  

半圆形半导体激光器阵列准直工艺方法研究第484-487页

关键词: 半导体激光器；  半圆形阵列；  准直；  泵浦；  光束指向；  光束质量；  

CMP中抛光垫的性质研究第488-491页

关键词: 化学机械抛光；  抛光垫；  玻璃过渡温度；  机械动力分析；  热机械分析；  修整器；  

微纳电子技术杂志国际视点

NIST最新碳纳米管检测细则第492-492页

关键词: 单壁碳纳米管；  样品检测；  nist；  美国国家航空航天局；  国际标准化组织；  技术标准化；  美国国家标准；  材料特性；