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微纳电子技术 2008年第09期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

MBE自组装量子点生长和结构形态研究（续）第498-504页

关键词: 自组装量子点；  生长条件；  结构形态；  inas量子点；  mbe；  平衡形态；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

GaAs高效率高线性大功率晶体管第505-507页

关键词: 大功率；  高性能fet；  高效率；  高线性；  内匹配；  

大功率半导体激光器步进加速老化研究第508-511页

关键词: 大功率半导体激光器；  电流步进；  加速老化；  寿命；  失效模式；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

Mg掺杂AlGaN的特性研究第512-515页

关键词: algan薄膜；  mg掺杂；  热退火；  表面形貌；  阴极射线发光；  

聚合物木堆微结构制备的研究第516-520页

关键词: 木堆结构；  毛细管力；  表面处理；  预聚体；  光子晶体；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

叉指型微电极交流电渗泵的阻抗谱分析第521-526页

关键词: 交流电渗泵；  阻抗分析；  阻抗模；  阻抗角；  rc电路；  

MEMS硅梁谐振式传感器的研究第527-531页

关键词: 传感器；  微电子机械系统；  悬臂梁；  各向异性；  湿法腐蚀；  

微纳电子技术杂志其他

重要更正第531-531页

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

微驱动器的压电-弹性耦合分析第532-537页

关键词: 微机电系统；  压电驱动；  耦合分析；  弹性薄板理论；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

扫描电子显微镜在栅光刻工艺中的应用第538-541页

关键词: 扫描电子显微镜；  栅光刻；  二次电子；  背散射电子；  荷电；  

W-Mo合金表面超精密加工的CMP技术研究第542-546页

关键词: 钨钼合金；  化学机械抛光；  去除速率；  表面活性剂；  表面粗糙度；  

微纳电子技术杂志其他

下期部分目次预告第546-546页

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

一种高集成LTCC射频前端电路第547-550页

关键词: 低温共烧陶瓷；  射频前端；  系统级封装；  谐波平衡；  微波单片集成电路；  

CMOS电荷泵锁相环中鉴频鉴相器的研究与设计第551-556页

关键词: 鉴频鉴相器；  锁相环；  死区；  d触发器；  锁存器；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第557-557页

关键词: 组装技术；  模拟器件公司；  振动传感器；  设备检测；  mems；  东北大学；  革命性；  晶片；