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微纳电子技术杂志

微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

主管单位:中国电子科技集团公司  主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所

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微纳电子技术 2009年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛
谐振隧穿晶体管数字单片集成电路第1-9页
关键词: 谐振隧穿晶体管;  d触发器;  静态存储器;  多值逻辑;  单稳双稳转换电路;  集成电路;  
微纳电子技术杂志纳米器件与技术
大功率半导体激光器腔面处理方法第16-22页
关键词: 半导体激光器;  灾变光学镜面损伤;  可靠性;  腔面氧化;  非辐射复合;  
微纳电子技术杂志纳米材料与结构
氧化沉淀法制备纳米级Mn3O4粉体及影响因素第23-28页
关键词: 纳米粉体;  沉淀法;  正交试验;  四氧化三锰;  团聚;  
反应物量对纳米晶Fe3Al组织和性能的影响第29-33页
关键词: 反应物量;  块体纳米晶fe3al;  晶粒尺寸;  力学性能;  铝热反应;  
微纳电子技术杂志MEMS器件与技术
介电电泳芯片的结构设计与模拟分析进展第34-40页
关键词: 介电电泳;  微流控芯片;  电场模拟;  微电极设计;  芯片结构优化;  
电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究第41-44页
关键词: 电子束曝光;  重复增量扫描;  流体;  微通道;  
微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备
压印技术制备超高密度Si2Sb2Te5基相变存储阵列第45-49页
关键词: 紫外压印;  高密度相变存储器阵列;  si2sb2te5;  存储单元;  相变;  
蓝宝石衬底材料CMP去除速率的影响因素第50-54页
关键词: 化学机械抛光;  蓝宝石衬底;  去除速率;  nm级sio2溶胶;  抛光布;  
电子束曝光中低能电子散射的模拟第55-59页
关键词: 电子束光刻;  pendry截面;  低能电子束;  散射轨迹;  分辨率;  
微纳电子技术杂志国际视点
趋势预测第60-62页
关键词: mems加速计;  预测;  mems器件;  消费市场;  汽车应用;  市场增长;  年增长率;  销售额;  
产品第62-62页
关键词: 产品;  mems;  tec公司;  传感器件;  xef2;  键合机;  sts;  定位仪;  
微纳电子技术杂志业界快讯
业内新闻第63-64页
关键词: spansion;  mems技术;  新闻;  国际合作;  晶体管;  硅材料;  ibm;  台积电;  
树立新目标 攀登新高峰——新年致辞暨贺本刊进入中文核心期刊行列第I0001-I0001页
关键词: 中文核心期刊;  科学技术应用;  微电子机械系统;  基础研究;  创新能力;  多学科交叉;  纳电子技术;  基础科学;