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微纳电子技术 2009年第04期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

GaN HFET研究中的钝化、场板和异质结构设计第193-200页

关键词: gan；  hfet的钝化；  场板效应；  极化工程；  二维异质结构；  背场板；  背势垒；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

散粒噪声用于纳米电子器件与结构的量子效应表征第201-208页

关键词: 散粒噪声；  开放通道；  传输电荷单元；  自旋相干；  弹道输运；  纠缠态探测；  

1．06μm大功率连续半导体激光器第209-212页

关键词: 半导体激光器；  金属有机化学气相淀积；  电光转换效率；  加速老化；  内部参数；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

Cr掺杂SiC薄膜的制备与光致发光特性第213-216页

关键词: 铬掺杂碳化硅；  双离子束溅射沉积；  傅里叶变换红外光谱分析法；  喇曼光谱分析法；  光致发光；  

C_20富勒烯分子异构体的^13C NMR谱特征比较第217-220页

关键词: c20富勒烯分子；  异构体；  对称性；  能量；  13c；  nmr谱；  

沟道应力对GaAs PHEMT材料电性能的影响第221-225页

关键词: 砷化镓赝配高电子迁移率晶体管；  砷化镓铟沟道；  失配应力；  热应力；  电性能；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

压电振子结构参数对微雾化器耦合特性的影响第226-230页

关键词: 微雾化器；  声压力波；  压电振子；  微电机系统；  

基于探针形式的三维硅微力传感器第231-235页

关键词: 微机电系统；  微力传感器；  探针；  三维力；  压阻；  

电渗泵的研究进展第236-243页

关键词: 微电子机械系统；  微流体；  电渗泵；  多孔介质；  开放通道；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

电子束曝光系统中精密工件台的测量系统第244-249页

关键词: 电子束曝光机；  激光干涉仪；  精密工件台；  光刻；  方向敏感性；  

GaN／SiO2刻蚀选择比的研究第250-253页

关键词: 选择比；  电感耦合等离子体；  干法刻蚀；  氮化镓；  偏置功率；  

微纳电子技术杂志国际视点

Wolfson推出世界上高性能的超小型MEMS麦克风第254-254页

关键词: mems；  麦克风；  超小型；  性能；  世界；  灵敏度；  转换器；  技术；  

应用材料公司接到Silex Microsystems多刻蚀系统的订单第254-254页

关键词: 应用材料公司；  silex；  刻蚀；  订单；  系统；  mems器件；  生产设备；  工厂；  

MEMSCAP宣布2008年第三季度的财务业绩第254-254页

关键词: 业绩；  财务；  mems技术；  因素影响；  提供商；  收入；  美元；  客户；  

EV集团接到欧洲知名大学的多系统订单第254-255页

关键词: 工业大学；  多系统；  订单；  欧洲；  集团；  ev；  mems；  南安普顿；