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微纳电子技术 2009年第09期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

量子点超辐射发光管研究进展（续）第513-517页

关键词: 超辐射发光管；  量子点；  光纤陀螺仪；  光时域反射计；  可调谐激光器；  时间相干性；  性能要求；  耦合效率；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

电荷俘获存储器中俘获层的研究进展第518-524页

关键词: 高k材料；  电荷俘获存储器；  俘获层；  隧穿层；  

基于SOISi片的二极管红外探测器第525-529页

关键词: 红外热成像；  红外探测器；  二极管；  soi；  温度灵敏度；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

溶胶-凝胶法制备高c轴取向纳米V_2O_5薄膜第530-534页

关键词: 纳米五氧化二钒薄膜；  高c轴生长取向；  二乙酰丙酮氧钒；  非晶衬底；  

4H-SiC同质外延层的质量表征第535-539页

关键词: xrd；  afm；  同质外延；  迁移率；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

基于声表面波的微驱动技术的发展第540-545页

关键词: 声表面波；  微流体加热；  微流体雾化；  微流体驱动；  线性固体驱动；  平面固体驱动；  

一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析第546-550页

关键词: 微机电系统；  静电排斥驱动器；  蛇形弹簧梁；  模态；  行程；  带宽；  

平面电磁型微电机定转子制作工艺第551-556页

关键词: 微电机；  大深宽比；  平面线圈；  深刻蚀；  微电铸；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

纳米楔形光纤探针的制备第557-560页

关键词: 光纤探针；  楔形；  化学腐蚀；  挤压变形；  压力；  

表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证第560-560页

关键词: 材料表面处理技术；  清洗技术；  纳米器件；  ic工艺；  表面预处理；  cmos；  可制造性；  非选择性；  

紫外纳米压印用PMMA转移层膜的制备及性能第561-565页

关键词: 紫外纳米压印；  聚甲基丙烯酸甲酯；  转移层膜；  压印胶；  粘附功；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

BST红外探测器阵列像元信号检测电路设计第566-574页

关键词: 铁电材料；  介电特性；  电脉冲；  文氏电桥；  红外探测器；  

微纳电子技术杂志国际视点

2009中国微纳电子技术行业发展论坛会议通知（第一轮）第575-576页

关键词: 中国电子科技集团公司；  行业协会；  电子技术；  会议；  论坛；  半导体技术；  分立器件；  交流；