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微纳电子技术 2009年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术专辑

服务于IC产业的MEMS探卡第705-714页

关键词: 圆片级测试；  芯片测试探卡；  微机械电子系统；  过孔互连；  镍探针阵列；  

气体声表面波传感器的研究进展第715-719页

关键词: 声表面波；  气体传感器；  换能器；  插入损耗；  敏感膜；  有机聚合物；  

微气泡执行器强化微混合的实验研究第720-725页

关键词: 微气泡执行器；  铂膜微加热器；  脉冲激励；  微混合；  混沌对流；  

基于声表面波的微型液滴雾化器技术第726-729页

关键词: 微细加工技术；  雾化器；  声表面波；  叉指换能器；  微粒；  

一种新型三自由度谐振式MEMS陀螺第730-734页

关键词: 微机械陀螺；  品质因数；  谐振频率；  谐振器；  运动放大器；  

声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真第739-743页

关键词: rf；  mems；  saw谐振器；  ansys软件；  建模与仿真；  

一种聚合物实心微针的制作方法第744-749页

关键词: 微针；  原始模具；  最终聚合物模具；  针尖；  针体；  聚二甲基硅氧烷；  

基于高深宽比Si干法刻蚀参数优化第750-754页

关键词: 微机电系统；  平板功率；  正交试验；  深宽比；  

多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法第755-757页

关键词: 三维刻蚀；  反应离子刻蚀；  湿法刻蚀；  高深宽比；  聚合物；  

硅MEMS器件键合强度在线检测方法第758-763页

关键词: 微电子机械系统；  阳极键合；  键合强度；  微结构；  在线检测；  

梳齿式MEMS加速度计在冲击下的失效分析第764-768页

关键词: 微电子机械系统；  加速度计；  失效分析；  梳齿；  冲击；  

微纳电子技术杂志国际视点

Kionix推出KXSD9三轴加速计第768-768页

关键词: mems加速计；  三轴；  lga；  

Tegal DRIE 3200赢得MEMS传感器制造商订单第768-768页

关键词: mems传感器；  制造商；  感应耦合等离子体刻蚀；  订单；  等离子刻蚀；  磁约束装置；  设备；  多模块；  

国际视点市场第769-770页

关键词: 市场；  喷墨打印头；  国际；  家用打印机；  工业用；  mems；  分配功能；  

测试技术第770-771页

关键词: 测试技术；  晶圆测试；  mems器件；  制造成本；  批量生产；