微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2010年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

超临界二氧化碳（SCCO2）无损伤清洗第65-70页

关键词: rca清洗；  硅片清洗；  无损伤清洗；  超临界二氧化碳；  超临界流体；  干燥；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

高效率大功率连续半导体激光器第71-75页

关键词: 大功率连续半导体激光器；  电光转换效率；  横向限制；  微通道热沉；  量子阱；  

一种新型4H—SiC BJT结终端结构研究第76-79页

关键词: 双极型晶体管；  结终端技术；  击穿电压；  数值分析；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

一维纳米材料定向排布技术的研究进展第80-84页

关键词: 一维纳米材料；  定向排列；  lb；  介电泳；  接触印刷；  水流法；  

670nm发光二极管材料的MOCVD外延生长第85-88页

关键词: algainp；  发光二极管；  压应变；  多量子阱；  光荧光；  界面粗糙度；  

HVPE法生长AlN薄膜材料第89-92页

关键词: 氢化物气相外延生长；  氮化铝；  载气；  蓝宝石衬底；  x射线衍射；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

Si／TiNi双层结构SMA电热驱动器的仿真和制造第93-98页

关键词: 电热驱动器；  双层结构；  tini基形状记忆合金薄膜；  ansys仿真；  si微细加工技术；  

电容式RF MEMS谐振器第99-104页

关键词: 谐振器；  射频；  谐振频率；  品质因数；  锚；  电容间隙；  

新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极第105-109页

关键词: mems；  生物电极；  牺牲层；  聚酰亚胺；  光刻；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

多层Cu布线化学机械抛光后颗粒的去除问题第110-114页

关键词: 化学机械抛光；  颗粒；  表面吸附；  非离子表面活性剂；  清洗剂；  苯丙三氮唑；  

电子散射参数提取的新方法第115-120页

关键词: 电子束光刻；  邻近效应校正；  电子散射；  散射参数；  微细加工；  抗蚀剂；  

阵列位相环匀光器第121-124页

关键词: 光束整形；  位相型衍射光学元件；  阵列菲涅尔波带片；  二元光学；  匀光器；  

微纳电子技术杂志国际视点

材料第125-126页

关键词: 高科技产品；  南加州大学；  材料；  汽车挡风玻璃；  柔性基底；  科研人员；  晶体管；  纳米管；  

技术第126-127页

关键词: 使能技术；  微流体器件；  测试应用；  流体技术；  喷墨印刷机；  创新技术；  实验室；  

产品第127-128页

关键词: 产品；  佛罗里达大学；  自适应光学系统；  天文学家；  subaru；  变形镜；  微机械；  波士顿；