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微纳电子技术 2010年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术专辑

纳米压印技术的最新进展第722-730页

关键词: 纳米压印技术；  大面积滚轴压印；  聚合物探针阵列；  光伏电池；  交叉电极阵列；  

微纳米通道电场调控电渗流研究及控制第731-735页

关键词: 电渗流；  微纳米通道；  zeta电位势；  双电层；  调控电压；  

MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究第736-741页

关键词: 平面微弹簧；  弹性系数；  几何非线性；  ansys；  

基于毛细管阀的微流体惯性开关建模与仿真第742-747页

关键词: 微流体；  惯性开关；  毛细管阀；  硅微通道；  数值分析；  

基于磁流体的微泵的研究进展第748-752页

关键词: 磁流体；  微流体系统；  微致动器；  微泵；  

人体唾液葡萄糖生物传感器第753-756页

关键词: 唾液葡萄糖；  二茂铁；  葡萄糖氧化酶；  酶固定；  生物传感器；  

引信MEMS延时保险机构性能仿真分析第757-761页

关键词: 引信；  保险机构；  延时解保；  动力学仿真；  

用于X波段移相器的RF MEMS开关设计第762-769页

关键词: 悬臂梁；  x波段；  移相器；  开关；  

静电刚度式谐振微加速度传感器的结构稳定性第770-775页

关键词: 静电刚度；  谐振；  加速度传感器；  稳定性；  

DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响第776-780页

关键词: 梳齿谐振器；  深反应离子刻蚀；  高深宽比；  倾斜角；  谐振频率；  

纳米柱阵列传感器的结构优化设计第781-786页

关键词: 有限阵列；  局部表面等离子体共振；  折射率灵敏度；  半高全宽；  品质因素；  传感灵敏度；  

市场第787-787页

关键词: 数码影像产品；  市场；  爱普生；  高科技产品；  cp系列；  数码相机；  液晶面板；  影像技术；  

第四届微米纳米技术创新与产业化国际研讨与展览会暨物联网与MEMS产业应用论坛在上海顺利召开第788-788页

关键词: ems产业；  国际研讨会；  技术创新；  上海市；  物联网；  展览会；  产业化；  论坛；  

2010年第47卷总目次第I0001-I0004页