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微纳电子技术 2011年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

微光刻与微／纳米加工技术第1-5页

关键词: 微光刻技术；  微纳米加工技术；  分辨率增强技术；  下一代光刻技术；  可制造性设计；  

微纳电子技术杂志器件与技术

基于量子遗传算法的量子细胞自动机仿真方法第6-11页

关键词: 比特编码；  多进制量子位；  量子旋转门；  

S波段脉冲大功率SiCMESFET第12-14页

关键词: 碳化硅；  s波段；  脉冲；  大功率；  

基于MSC双声路SAW器件的设计仿真平台第15-20页

关键词: 声表面波器件；  多条耦合器；  双声路；  分裂指；  假指；  

微纳电子技术杂志材料与结构

碳纳米管微电极的直流介质阻挡放电特性第21-25页

关键词: 电泳碳纳米管；  介质阻挡放电；  气敏传感器；  

预退火气氛对BDT铁电薄膜性能的影响第37-39页

关键词: bdt薄膜；  预退火；  铁电性；  有机；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

SU-8胶双光子微加工分辨率与工艺条件研究第40-45页

关键词: 双光子聚合；  微加工；  分辨率；  飞秒激光；  

MEMS微执行器平板运动稳定性研究第46-52页

关键词: 静电微执行器；  串联反馈；  吸合效应；  稳定范围；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

X射线二极管平响应滤片的制作第53-57页

关键词: 微电镀；  体硅腐蚀；  等离子体刻蚀；  x光平响应；  紫外光曝光；  

铁电刻蚀的研究进展第58-62页

关键词: 铁电刻蚀；  铁电畴图形化；  纳米器件；  扫描探针显微术；  微电极；  电子束；  

电子束抗蚀剂图形结构的倒塌与粘连第63-68页

关键词: 电子束光刻；  抗蚀剂；  高深宽比；  倒塌；  超临界二氧化碳干燥；