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微纳电子技术 2011年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

微光刻与微/纳米加工技术（续）第69-73页

关键词: 纳米加工技术；  下一代光刻技术；  微光刻；  研究与开发；  光学光刻技术；  微电子技术；  物理极限；  特征尺寸；  

微纳电子技术杂志器件与技术

高方块电阻发射区单晶硅太阳电池的性能优化第74-78页

关键词: 单晶硅太阳电池；  磷扩散；  高方块电阻发射区；  光谱响应；  转换效率；  

AlGaN/GaN HEMT器件工艺的研究进展第79-86页

关键词: gan；  高电子迁移率晶体管；  algan；  微波晶体管；  功率；  

两层金属场极板高压LDMOS的优化设计第87-91页

关键词: ldmosfet；  金属场极板；  多晶硅场极板；  击穿电压；  比导通电阻；  

微纳电子技术杂志材料与结构

聚苯胺纳米材料的合成与应用第92-97页

关键词: 纳米材料；  导电高分子；  聚苯胺；  化学氧化聚合法；  电化学聚合法；  模板法；  

大孔TiO2-ZnO复合纳米材料的制备及其性能第98-102页

关键词: 大孔材料；  tio2；  zno；  模板法；  光催化性能；  

用于高灵敏微磁传感器的LMO膜制备与分析第103-107页

关键词: 磁传感器；  巨磁阻抗；  溶胶凝胶；  lamnox薄膜；  纵向磁场后退火；  各向异性；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

宽范围可调MEMS集成滤波器的设计与制作第108-111页

关键词: 滤波器；  微机械加工；  宽可调比；  集成；  

基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪第112-117页

关键词: 高场不对称波形离子迁移谱；  非线性离子迁移率；  微电子机械系统；  离子迁移谱；  快速检测；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

晶体硅太阳电池表面钝化技术第118-127页

关键词: 太阳电池；  钝化；  减反特性；  转换效率；  表面复合；  叠层钝化膜；  

磁性液体合成装置的研制及其应用第128-131页

关键词: 磁性液体；  纳米颗粒；  磁滞现象；  场致效应；  合成装置；  磁场；  

基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究第132-137页

关键词: 光诱导介电泳；  氢化非晶硅；  光电导薄膜；  自动化操作；  odep芯片；  虚拟电极；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第138-138页

关键词: 技术；  抛光工艺；  晶圆；  薄芯片；  耐用性；  富士通；  减薄；  研磨；  

产品第138-139页

关键词: 晶体管放大器；  产品；  电子电路；  硅基技术；  石墨；  多样化；  可替代；  三模；  

Shrink Nanotechnologies与Corning签署模块化微流体系统全球独家专利使用权授权协议第140-140页

关键词: 微流体系统；  授权协议；  使用权；  模块化；  专利；  产品应用；  开发工具；  太阳能产品；