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微纳电子技术 2011年第04期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

铁镍合金与碳纳米管复合物的制备及吸波性能第209-214页

关键词: 纳米复合物；  铁镍合金；  微波吸收；  复数介电常数；  复数磁导率；  

微纳电子技术杂志器件与技术

蝶形天线增强的HEMT室温太赫兹探测器第215-219页

关键词: 探测器；  太赫兹；  蝶形天线；  自混频；  

影响AlGaN/GaN HFET器件二维电子气的若干因素第225-229页

关键词: 自发极化；  压电极化；  

基于GaAs PHEMT的Ku波段宽带单片中功率放大器第230-232页

关键词: gaas；  ku波段；  宽带；  功率放大器；  单片；  

微纳电子技术杂志材料与结构

淀积参数对PECVD氮化硅薄膜力学特性的影响第233-236页

关键词: 纳米压痕；  杨氏模量；  硬度；  

ZnO纳米棒与Si（111）和Si（100）衬底的外延关系第237-241页

关键词: zno纳米棒；  热蒸发；  外延生长；  晶格常数；  失配；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜第242-247页

关键词: 变形镜；  自适应光学；  吸合效应；  静电排斥力；  冲程；  

微机械圆盘谐振器的仿真分析及等效电路第248-253页

关键词: 微机械谐振器；  机电类比；  机械集总参数；  ansys软件；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

分子印迹膜SPR传感器检测氯磺隆的方法第254-257页

关键词: 传感器；  连续检测；  

悬臂梁接触式RF MEMS串联开关工艺设计第258-263页

关键词: 悬臂梁；  开关；  x波段；  工艺流程；  

基于1×2阵列压电悬臂梁的AFM并行扫描第264-268页

关键词: 悬臂梁阵列；  并行扫描；  微弱信号检测；  压电；  

离子注入水平扫描均匀性控制算法第269-273页

关键词: 离子注入；  扫描；  均匀性；  算法；  束流；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术快速检测DNA单核苷酸变异的实验室芯片系统技术进展第274-274页

关键词: 单核苷酸多态性；  芯片系统；  快速检测；  技术进展；  实验室；  dna；  变异；  医疗保健；  

产品第275-275页

关键词: mems谐振器；  devices；  产品；  低电压驱动；  工作电压；  iedm；  ieee；  开发；  

市场第275-276页

关键词: 市场；  mems；  产品创新；  产品性能；  陀螺仪；  高精度；