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微纳电子技术 2011年第06期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

电子束光刻技术与图形数据处理技术第345-352页

关键词: 匹配与混合光刻；  图形数据处理；  

微纳电子技术杂志器件与技术

MOSFET栅氧泄漏隧穿电流的分析模型：量子力学研究第357-364页

关键词: 反型层量子化；  隧穿模型；  多晶硅栅；  

《微纳电子技术》征稿第364-364页

关键词: 纳电子技术；  微细加工技术；  纳电子器件；  中文核心期刊；  科技核心期刊；  纳米材料；  mems；  微电子领域；  

微纳电子技术杂志材料与结构

双层掺混结构CNT薄膜的制备及场发射性能第365-369页

关键词: 碳纳米管；  丝网印刷；  双层掺混；  场发射；  阴极薄膜；  

Si基稀土Er_2O_3薄膜材料特性及制备研究进展第370-375页

关键词: si基er2o3薄膜；  能带带隙；  光学常数；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用第376-383页

关键词: 光纤；  光纤传感器；  消逝场；  传感结构；  灵敏度；  

三维壁面效应对微喷管性能影响的数值计算第384-390页

关键词: 并行计算；  微喷管；  三维壁面效应；  流量系数；  推力效率；  

一种新的微机械陀螺品质因数测试方法第391-394页

关键词: 陀螺；  品质因数；  数字采集卡；  labview；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

MEMS THz滤波器的制作工艺第399-402页

关键词: 滤波器；  干法刻蚀；  键合；  

碳纳米管与外电路的连接技术进展第403-410页

关键词: 纳电子器件；  组装；  连接；  可靠性；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第411-412页

关键词: mems技术；  意法半导体；  合作生产；  微机电系统；  生物数据库；  便携设备；  消费电子；  医疗保健；  

产品第412-412页

关键词: 时钟发生器；  产品；  输出功能；  mems；  高性能网络；  可编程；  pll；  全硅；