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微纳电子技术 2012年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

纳电子学的发展第1-6页

关键词: 纳电子；  cmos；  后cmos；  纳米；  石墨烯；  纳线fet；  

《微纳电子技术》征稿第6-6页

关键词: 纳电子技术；  中文核心期刊；  科技核心期刊；  数据库；  国内外；  

微纳电子技术杂志器件与技术

MWT和EWT背接触太阳电池结构及其技术发展第12-21页

关键词: 太阳电池；  背接触太阳电池；  高效电池；  

微纳电子技术杂志材料与结构

反应条件对水溶性CdSe量子点光学性能的影响第22-26页

关键词: 水溶性；  cdse量子点；  反应条件；  配位剂；  光学性能；  

磁控溅射结合快速热处理制备相变氧化钒薄膜第27-32页

关键词: 溅射；  氧化钒薄膜；  相变；  快速热处理；  光电性能；  

ULSICu互连CoSiN扩散阻挡薄膜的研究第33-38页

关键词: cosin；  磁控溅射；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

提高RFMEMS开关速度的电压控制方法第39-44页

关键词: rf；  mems开关；  释放时间；  开关速度；  梁振动；  偏置电压；  

碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究第45-49页

关键词: 碳纳米管；  场效应器件；  气体传感器；  解吸附；  

MEMS微惯性组合静态误差建模与补偿第50-55页

关键词: 微惯性组合；  误差补偿；  标定；  静态误差模型；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备第56-61页

关键词: 集成电极；  微流控芯片；  生物芯片；  ansys模拟；  

应用于MEMS封装的TSV工艺研究第62-67页

关键词: bosch工艺；  刻蚀；  电镀；  

全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（筹）全体大会暨国家标准审定会圆满闭幕第68-68页

关键词: 标准化技术委员会；  半导体设备；  微光刻技术；  国家标准；  审定；  材料；  纳米制造技术；  用户单位；