微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2012年第03期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

量子点外延生长新模型第141-146页

关键词: 量子点；  自组装；  原子集体运动；  外延生长；  

《微纳电子技术》编辑部网站已开通第146-146页

关键词: 纳电子技术；  编辑部公告；  网站；  http；  广告业务；  www；  导航栏；  杂志；  

微纳电子技术杂志材料与结构

硅纳米管结构和电子性质的第一性原理研究第152-155页

关键词: 第一性原理；  硅纳米管；  态密度；  手性；  能隙；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

Q值对无源压力传感器无线信号传输的影响第162-165页

关键词: 压力传感器；  无线信号传输；  q值；  金属层厚度；  天线；  

石英微机械陀螺的研究进展第173-180页

关键词: 石英；  微机械陀螺；  压电效应；  科氏加速度效应；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

GaN电感耦合等离子体刻蚀的优化和损伤分析第181-186页

关键词: 损伤；  功率；  dc偏压；  

基于SU-8的微透镜阵列的设计和制作第187-191页

关键词: 微透镜阵列；  光刻工艺；  斜曝光；  系统集成；  

NiCu双金属电极电催化析氢第192-196页

关键词: 析氢；  催化活性；  电沉积；  nicu电极；  合金电极；  电催化；  

铌酸锂干法刻蚀的研究进展第197-207页

关键词: 集成光学；  光学器件；  铌酸锂；  干法刻蚀；  反应离子刻蚀；  

硫化镉晶片抛光工艺研究第208-212页

关键词: 氧化剂；  表面粗糙度；