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微纳电子技术 2012年第04期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

量子点外延生长新模型（续）第213-221页

微纳电子技术杂志材料与结构

基于纳米颗粒的铜锌锡硫硒薄膜制备第228-232页

关键词: 纳米颗粒；  薄膜太阳电池；  热注入；  墨水；  

掺Cr,Ni对S在Fe（100）面吸附的第一性原理研究第233-236页

关键词: 第一性原理；  吸附能；  掺杂；  

长直SiO2纳米线的制备和结构表征第237-241页

关键词: 纳米线；  无定形；  磁控溅射；  微观结构；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

振动驱动微能源技术研究进展第242-247页

关键词: 静电转换；  磁电转换；  压电转换；  微能源技术；  

压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究第248-253页

关键词: 能量收集；  压电效应；  有限元分析；  悬臂梁；  谐振频率；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于GMR生物传感器的甲胎蛋白检测第254-257页

关键词: 生物传感器；  微磁珠；  生物检测；  

多步退火对（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜的影响第263-267页

关键词: 反铁电厚膜；  退火工艺；  微观结构；  电学特性；  

基于介电电泳的微尺度颗粒分离研究进展第268-279页

关键词: 微流控；  微管道；  介电电泳；  颗粒分离；  时变力场；  

碱性条件下铝CMP的机理分析及实验优化第280-284页

关键词: 抛光液；  去除速率；  表面活性剂；