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微纳电子技术 2012年第05期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

昆虫微机电混合系统发展现状及其关键技术第285-290页

关键词: 生物机械混合体昆虫；  可靠接口；  运动控制；  无线收发；  能源供给；  

微纳电子技术杂志器件与技术

有机场效应晶体管最新实验研究进展第291-301页

关键词: 有机半导体材料；  栅介质层；  电极界面；  衬底温度；  退火处理；  

微纳电子技术杂志材料与结构

单轴应力下热氧化SiO_2的介电电致伸缩系数研究第302-305页

关键词: sio2薄膜；  介电电致伸缩系数；  微悬臂梁；  单轴应力；  机械边界条件；  

染料敏化TiO_2单晶纳米棒阵列太阳电池的性能第306-312页

关键词: tio2；  纳米棒；  染料敏化太阳电池；  光电转化效率；  退火；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真第313-317页

关键词: 微机械陀螺；  杠杆；  放大；  机械灵敏度；  系统级仿真；  

MEMS谐振器的并联电容噪声抑制第318-322页

关键词: mems谐振器；  质量传感器；  生化检测；  电容补偿；  频率噪声；  

《微纳电子技术》再次入选中文核心期刊第322-322页

关键词: 期刊；  编辑工作；  发行工作；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究第323-327页

关键词: 酰亚胺；  等离子体刻蚀；  柔性微结构；  聚酰亚胺膜固定；  微腔成型；  

侧墙技术在相变存储器中的应用第328-335页

关键词: 侧墙；  纳米技术；  ge2sb2te5；  微纳加工；  

第五届中国微纳电子技术交流与学术研讨会即将召开第335-335页

关键词: 中国电子科技集团公司；  纳电子技术；  学术研讨会；  技术交流；  学术交流会议；  行业协会；  分立器件；  半导体；  

纳秒激光电化学复合掩模的微细加工第336-339页

关键词: 纳秒脉冲；  激光电化学；  复合加工；  掩模；  微细加工；  

Cu CMP过程中背压对膜厚一致性影响第340-344页

关键词: 化学机械平坦化；  铜布线；  膜厚；  一致性；  背压；  

圆片级真空封装技术在MEMS陀螺中的应用第345-349页

关键词: mems硅微陀螺；  圆片级封装；  真空封装；  阳极键合；  品质因数；  

微纳电子技术杂志国际视点

用于芯片的微型燃料电池第351-351页

关键词: 微型燃料电池；  微流体器件；  芯片；  微燃料电池；  研究人员；  微型电池；  食品安全；  基因测序；  

市场第351-352页

关键词: 市场；  投资者；  企业家；  创始人；  董事会；  融资；  总裁；