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微纳电子技术 2012年第07期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

高灵敏度AlGaN/GaN HEMT生物传感器设计及制作第425-432页

关键词: 生物传感器；  生物分子膜门电极；  灵敏度；  山羊免疫球蛋白；  

微纳电子技术杂志器件与技术

金属表面等离激元增强聚合物太阳电池第433-437页

关键词: 聚合物太阳电池；  p3ht；  pcbm；  金纳米颗粒；  等离激元；  

GNRFET双极特性及工作区域研究第438-443页

关键词: 双极特性；  转移特性；  输出特性；  工作区域；  

中间带太阳电池进展第444-448页

关键词: 中间带；  量子点；  高失配合金；  太阳电池；  杂质带；  

微纳电子技术杂志材料与结构

基于电纺纤维的CuO/SnO2薄膜及其气敏特性第449-453页

关键词: 静电纺丝；  纳米纤维；  异质结薄膜；  等离子体刻蚀；  气敏特性；  

金属量子线材料的制备及其应用第454-461页

关键词: 量子线；  量子电导；  量子器件；  传感器；  金属；  

ECCVD法制备单壁碳纳米管第462-466页

关键词: 单壁碳纳米管；  二茂铁；  膜状产物；  低温；  

《微纳电子技术》再次入选中文核心期刊第466-466页

关键词: 期刊；  编辑工作；  纳电子技术；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制第467-470页

关键词: 滤波器；  谐振原理；  碳化硅；  亚微米间隙；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

含氟紫外纳米压印光刻胶的研制第471-477页

关键词: 紫外纳米压印；  光刻胶；  含氟助剂；  接触角；  脱模；  

PECVD法制备纳米晶硅薄膜的研究进展第478-482页

关键词: 纳米晶；  硅薄膜；  微结构；  高氢稀释；  晶化率；  

等离子体增强原子层沉积原理与应用第483-490页

关键词: 等离子体；  薄膜沉积；  金属薄膜；  互连阻挡层；  高介电材料；  薄膜封裹；  

第五届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知（第一轮）第491-492页

关键词: 中国电子科技集团公司；  纳电子技术；  学术研讨会；  技术交流；  学术交流会议；  行业协会；  分立器件；  半导体；