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微纳电子技术 2012年第11期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

原子层沉积技术研究及其应用进展第701-708页

关键词: 薄膜沉积；  太阳电池；  互连技术；  催化剂；  分离膜；  

微纳电子技术杂志器件与技术

加法器的QCA设计与研究进展第709-715页

关键词: 加法器；  多数门；  元胞数；  延迟；  

GaN基HFET电力电子器件的研究第716-725页

关键词: gan；  功率器件；  击穿电压；  导通电阻；  

微纳电子技术杂志材料与结构

Cu或Sn与Fe共掺杂对ZnO晶体形貌和磁性的影响第726-731页

关键词: zno；  水热法；  共掺杂；  晶体形貌；  磁性；  

新型高B值NTC热敏材料的制备及其性能研究第732-735页

关键词: 热敏电阻；  电学性能；  高材料常数b值；  固相法；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响第736-742页

关键词: 电场诱导聚合物流变成型技术；  电流体动力学；  动网格技术；  微纳结构；  数值仿真；  

MEMS加速度计误差的高精度标定方法第743-748页

关键词: mems加速度计；  误差模型；  六位置标定；  温度补偿；  

MEMS陀螺中带孔结构空气阻尼建模分析第749-754页

关键词: 陀螺；  空气阻尼；  q值匹配；  工作带宽；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

碱性抛光液对铜与钽CMP选择比的影响第755-761页

关键词: 选择比；  抛光液；  阻挡层；  铜；  蝶形坑；  

退火温度对Mn-Co-Ni-O系NTC薄膜阻温特性的影响第762-766页

关键词: 薄膜；  射频磁控溅射；  陶瓷靶材；  退火温度；  

微纳电子技术杂志国际视点

Yole Développement宣布MEMS器件收益年增长率达20%第767-767页

关键词: mems器件；  手机销量；  项目负责人；  调查结果；  持续增长；  平板电脑；  预计；  

全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会全体大会2012年技术研讨会圆满闭幕第768-768页

关键词: 标准化技术委员会；  技术研讨会；  半导体设备；  微光刻；  材料；  度假村；  天目湖；  

全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会2012年技术研讨会第F0003-F0003页

四川南光真空科技有限公司第F0004-F0004页

关键词: 真空科技；  川南；  产品质量；  光刻机；