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微纳电子技术 2012年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

核磁共振微陀螺的现状与发展第769-774页

关键词: 微型陀螺仪；  原子自旋；  原子传感器；  

微纳电子技术杂志器件与技术

金属栅／高k基FinFET研究进展第775-780页

关键词: finfet；  高k介质；  金属栅；  界面态；  等氧化层厚度；  短沟道效应；  

微纳电子技术杂志材料与结构

单晶硅表面STM成像理论模型与实验分析第781-785页

关键词: 密度泛函理论；  第一性原理计算；  电子密度；  电子结构；  单晶硅；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

高灵敏度宽频带阵列式仿生矢量水听器研究第790-795页

关键词: 高灵敏；  宽频带；  阵列式；  仿生；  矢量水听器；  频响；  指向性；  

非硅MEMS惯性开关可靠性研究第802-806页

关键词: 非硅mems惯性开关；  可靠性；  温度循环；  随机振动；  分层失效；  疲劳；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

智能测试磁性液体表面张力系数的实验研究第807-811页

关键词: 磁性液体；  智能测试；  表面张力系数；  磁场；  饱和磁化强度；  

低能电子束光刻过程的Monte Carlo模拟分析研究第812-819页

关键词: 电子束光刻；  monte；  carlo模拟；  低能电子束；  显影轮廓图；  邻近效应校正；  

微腐蚀去除硅衬底表面损伤及污染物研究第820-823页

关键词: 化学腐蚀；  硅片清洗；  表面损伤；  颗粒；  清洗液；  

硅探测器加工中的离子注入工艺设计与控制第824-828页

关键词: 离子注入；  硅pin辐射探测器；  pn结；  注入能量；  注入剂量；  死层；  

多层铜布线表面CMP后颗粒去除研究第829-832页

关键词: 颗粒；  吸附；  非离子表面活性剂；  清洗；