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微纳电子技术 2013年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

石墨烯可调谐红外分光光电转换集成器件研究第1-5页

关键词: 光谱分光；  光电探测；  石墨烯；  带间跃迁；  光生载流子；  

纳米CMOS电路的单粒子瞬态影响因素研究第6-10页

关键词: 单粒子瞬态；  纳米cmos；  电路模拟；  影响因素；  加固；  

微纳电子技术杂志材料与结构

碳纳米管的大面积合成及磁性（英文）第11-17页

关键词: 碳纳米复合物；  磁性能；  

磷酸银应用于太阳能光催化的研究进展第18-22页

关键词: ag3po4；  光催化；  太阳能；  微米晶；  共沉淀；  溶剂热；  

ZnS薄膜制备和光学性能研究第23-28页

关键词: 太阳电池；  化学水浴法；  zns薄膜；  表面形貌；  光学带隙；  

太赫兹量子级联激光器有源区有限元模拟第29-33页

关键词: 有限元分析；  matlab；  薛定谔方程；  差频；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

热温差型微流量传感器的温度补偿方法研究第34-39页

关键词: 流量传感器；  有限元分析；  加热电阻；  温差；  恒流电路；  

基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器第40-46页

关键词: 柔性；  热剪切应力传感器；  恒温模式；  聚酰亚胺；  铂；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

主光轴平行于基底的微透镜阵列制作与测试第47-51页

关键词: 微透镜阵列；  水浴光刻；  球面；  成像检测；  

碱性抛光液中纳米SiO2磨料在Cu CMP中的作用第52-56页

关键词: 铜布线；  磨料浓度；  去除速率；  平坦化效率；  

无线植入式连续眼内压检测微系统发展与展望第57-63页

关键词: 植入式微系统；  压力传感器；  低功耗集成电路；  

纳米级三氧化二铝对碱性钨抛光液的影响第64-68页

关键词: 纳米；  碱性；  三氧化二铝；  钨抛光液；