微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2013年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

分段圆型碳纳米管阴极结构的三极FED制作第74-77页

关键词: 碳纳米管；  场发射；  阴极；  银浆；  丝网印刷；  底电极；  

S波段大功率、高效率GaNHEMT器件研究第78-80页

关键词: 内匹配；  功率合成；  大功率；  阻抗；  

微纳电子技术杂志材料与结构

单层硫化钼的研究进展第81-85页

关键词: 高温硫化法；  水热法；  表面活性剂促助法；  纳米电子器件；  

衬底负偏压及溅射功率对SiO2／Cu薄膜形貌的影响第86-89页

关键词: 射频磁控溅射；  衬底负偏压；  溅射功率；  薄膜；  形貌；  

周期层数及入射角对一维光子晶体带隙的影响第90-94页

关键词: 一维光子晶体；  透射谱；  周期层数；  入射角；  带隙；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

减小交叉耦合的三维微加速度计的设计第95-99页

关键词: 微电子机械系统；  三维微加速度计；  差分电容；  交叉耦合度；  固有频率；  

基于电共轭液的人工肌肉及微手指研究第100-105页

关键词: 机器人技术；  仿生；  电共轭液；  微手指；  人工肌肉；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

电子束零宽度线曝光及其应用第106-111页

关键词: 邻近效应；  高分辨率光刻；  零宽度线曝光；  密集线图形；  

CMP浆料SiO2水溶胶纯化稳定性技术的研究第112-117页

关键词: 硅溶胶；  离子交换；  ph值；  zeta电位；  

用于3D封装的带TSV的超薄芯片新型制作方法第118-123页

关键词: 3d集成；  减薄；  湿法腐蚀；  电镀；  

微纳电子技术杂志国际视点

产品第129-131页

关键词: 语音交互系统；  信号处理技术；  麦克风阵列；  产品；  意法半导体；  远距离；  声学参数；  mems；  

市场第131-132页

关键词: 市场；  消费电子产品；  指数增长；  移动设备；  mems；  麦克风；  销量；  行业；