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微纳电子技术 2013年第03期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

硅基单电子晶体管的可控制备第133-136页

关键词: 库仑阻塞；  电子束曝光；  

多晶硅薄膜太阳电池第137-142页

关键词: 太阳电池；  多晶硅薄膜；  

微纳电子技术杂志材料与结构

面向新型DNA检测方法的固态纳米孔研究进展第143-150页

关键词: 固态纳米孔；  dna测序；  纳米加工；  孔收缩；  石墨烯纳米孔；  

稀土材料铕铁硼磁性隧道结的第一性原理研究第151-155页

关键词: 稀土材料；  电子输运；  传输谱；  第一性原理；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

微型电磁振动能量采集器的研究进展第156-166页

关键词: 电磁；  振动；  能量采集器；  抗磁悬浮；  振动能量发生器；  

后退火处理对电容式MEMS微加速度计的影响第167-171页

关键词: 微加速度计；  电容式；  退火；  漂移；  

微惯性开关L型闭锁梁分析第172-176页

关键词: 微惯性开关；  l型闭锁梁；  位移比；  动态响应；  结构稳定性；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

深槽刻蚀工艺中lag效应的研究（英文）第177-183页

关键词: lag效应；  反常lag效应；  平衡模型；  正交实验；  

化学机械抛光中材料去除非均匀性及因子分析第184-189页

关键词: 因子设计；  有限元分析；  非均匀性；  应力应变分布；  材料去除率；  

XPS测量稀土氧化物薄膜禁带宽度的可行性研究第190-193页

关键词: 高k栅介质薄膜；  禁带宽度；  稀土氧化物薄膜；  

共烧温度对Pt/YSZ泵氧电极性能的影响第194-198页

关键词: pt；  ysz；  计时电流法；  

第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知（第一轮）第199-199页

关键词: 纳电子技术；  技术交流；  学术研讨会；  中国；  新兴产业；  技术更新；  先导性；  多学科；  

第七届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会通知（第一轮）第200-200页

关键词: 半导体分立器件；  行业协会；  消费类电子；  年会；  中国；  混合动力汽车；  宏观经济；  鼓励政策；