微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2013年第08期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

石墨烯纳米带场效应管结构优化第474-478页

关键词: 结构优化；  掺杂；  开关电流比；  亚阈值摆幅；  

微纳电子技术杂志材料与结构

在DNA网络模板上原位合成金纳米颗粒第479-486页

关键词: 金纳米颗粒；  dna网络；  原位合成；  模板法；  原子力显微镜；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构研究进展第494-500页

关键词: 薄膜；  塞贝克系数；  测试结构；  在线测试；  

一种集成式硅MEMS振动陀螺仪第501-505页

关键词: 陀螺仪；  soi工艺；  圆片级真空封装；  集成封装；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

AlN压电薄膜的制备工艺第506-511页

关键词: aln薄膜；  射频反应磁控溅射；  c轴择优取向；  

微流体系统中微通道制作工艺的研究进展第512-517页

关键词: 微流体系统；  微通道；  仿生微机械；  自然微通道；  

一种获得纳米间隙电极的接触光刻方法第518-522页

关键词: 电极对；  纳米间隙；  阵列误差光刻；  接触光刻；  纳米电子学；  

用于自对准SiMMIC的等平面深槽隔离工艺第528-533页

关键词: 深槽隔离；  各向异性刻蚀；  等平面；  自对准；  

一种真空度可调的圆片级封装技术第534-537页

关键词: 密封；  金硅共晶键合；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第538-539页

关键词: 微细加工技术；  light；  激光微加工；  半导体行业；  航空航天；  生物技术；  高精度；  高科技；  

PMF2000传感器刷新性能标准第539-539页

关键词: 空气流量传感器；  性能标准；  刷新；  微电子技术；  mems；  压力振动；  失效问题；  制造商；  

市场第539-540页

关键词: mems技术；  市场；  消费电子产品；  se公司；  开发商；  平台；  制作；  专利；