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微纳电子技术 2013年第10期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

GaN基光栅外腔半导体激光器研究进展第609-614页

关键词: gan基；  光栅外腔半导体激光器；  可调谐波长；  窄线宽；  高精度光谱测试；  气体探测；  全息数据存储；  

微纳电子技术杂志材料与结构

Si／SiO2界面的原子结构模型第615-622页

关键词: 原子结构；  电子特性；  界面结构；  硅；  氧化硅；  过渡层；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

高隔离度阶跃结构MEMS开关的设计第623-628页

关键词: 驱动电压；  隔离度；  插入损耗；  回波损耗；  

基于MEMS高阻硅基底的X波段微带天线第629-634页

关键词: 微带天线；  hfss；  高阻硅；  空腔；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

化学刻蚀硅中电荷转移和纳米结构的形成第639-645页

关键词: 电化学；  化学刻蚀；  纳米多孔硅薄膜；  电荷转移；  电解抛光；  

反面水浴斜曝光法制作三维微透镜阵列第646-651页

关键词: 三维；  微透镜阵列；  主光轴水平；  反面水浴曝光；  

阻挡层CMP中铜损失的问题第652-655页

关键词: 阻挡层；  铜损失；  电阻；  漏电流；  

多重图形技术的研究进展第656-661页

关键词: 多重图形技术；  纯间距分离技术；  纯间距分割技术；  间距分离分割混合技术；  先进图形技术；  微缩化技术；  图形转移；  

飞秒四光束干涉技术加工石墨烯纳米网第662-666页

关键词: 石墨烯；  纳米网；  飞秒激光；  四光束干涉；  微纳加工；  

TSV阻挡层碱性抛光液对Ti／Cu去除速率的影响第667-670页

关键词: 阻挡层；  去除速率；  ph值；  氧化剂；  

PVT法生长ZnTe晶体的技术第671-674页

关键词: 单晶；  多晶；  籽晶；  

微纳电子技术杂志国际视点

Farsens公司推出无线无电池传感器标签测量恶劣环境的温度第675-675页

关键词: 新型传感器；  环境参数；  ns公司；  温度；  测量；  标签；  电池；  无线；  

Conventor 的SEMulator3D半导体建模技术新进展第676-676页

关键词: 半导体工艺；  建模技术；  场效应晶体管；  3d软件；  研发周期；  虚拟开发；  建模平台；  发展潜力；