微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2013年第11期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

切趾体光栅在高功率光束下的衍射特性分析第677-682页

关键词: 体布拉格光栅；  sinc切趾；  光束传输法；  衍射特性；  高功率激光；  

微纳电子技术杂志器件与技术

1000 V 4H—SiC JBS功率二极管元胞第695-700页

关键词: 碳化硅；  jbs元胞；  直流特性；  反向恢复特性；  

微纳电子技术杂志材料与结构

用于铁电BaTiO3薄膜的Ta2O5隔离埋层第701-704页

关键词: 铁电陶瓷；  电介质；  多层薄膜；  铁电性；  界面效应；  

SnO2纳米结构的制备及发光特性第705-709页

关键词: 碳热蒸发；  sno2纳米结构；  发光特性；  可控生长；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

被动式微流控混合器的研究进展第710-714页

关键词: 微流控芯片；  被动式微流控混合器；  主动式微流控混合器；  混沌微流控混合器；  混合机理；  

微型振动能量收集器的研究现状及发展趋势第715-720页

关键词: 能量收集器；  振动；  电磁式；  压电式；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备第721-725页

关键词: 紫外纳米压印；  模板；  微结构；  

磷酸作为pH调节剂在阻挡层抛光过程中的应用第726-730页

关键词: 磷酸；  ph调节剂；  高去除速率；  高选择性；  碟形坑；  

硼掺杂浓度对金刚石薄膜电极的影响第731-734页

关键词: 电化学窗口；  硼掺杂；  

TSV Cu CMP碱性抛光液及工艺第735-738页

关键词: 单因素；  高去除速率；  抛光液；  

厚层硅外延用衬底的边缘处理第739-742页

关键词: 厚层外延；  边缘倒角；  滑移线；  边缘损伤；  面幅宽度；  

产品第743-744页

关键词: 产品；  表面涂覆；  纤维网络；  化学涂料；  研究人员；  荷叶效应；  排列形式；  化学涂层；