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微纳电子技术 2014年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

三维晶体管和后CMOS器件的进展第1-11页

关键词: 鳍栅fet；  三栅fet；  ingaas鳍栅fet；  环栅纳米线fet；  ge鳍栅fet；  碳纳米管fet；  石墨烯fet；  隧穿fet；  自旋器件；  

微纳电子技术杂志器件与技术

基于量子元胞自动机的模可变计数器设计第12-16页

关键词: 计数器；  模可变；  时钟布线；  随机初始状态；  

玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池第17-23页

关键词: 多晶硅；  玻璃衬底；  快速热退火；  氢钝化；  固相晶化；  液相晶化；  

微纳电子技术杂志材料与结构

RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较第24-29页

关键词: 阻变机制；  氧空位机制；  金属细丝机制；  

PVK／Alq3复合薄膜的磁电阻效应第30-33页

关键词: 迁移率；  电阻效应；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

零偏4H—SiC衬底的同质外延方法第48-52页

关键词: 同质外延；  基面位错；  原位刻蚀；  

适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法第53-58页

关键词: 电沉积；  前驱合金；  去合金；  微加工工艺；  

ZnO缓冲层的厚度对HVPE—GaN外延层的影响第66-70页

关键词: zno缓冲层；  蓝宝石；  磁控溅射；