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微纳电子技术 2014年第06期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管第345-354页

关键词: 硅衬底；  

微纳电子技术杂志材料与结构

背势垒对InAlN/GaN异质结构中二维电子气的影响第359-365页

关键词: inaln；  gan异质结构；  背势垒插入层；  能带结构；  电子迁移率；  

静电纺丝技术制备三维纳米结构研究进展第366-373页

关键词: 静电纺丝；  纳米纤维；  三维纳米结构；  自组装；  固体模板辅助收集法；  液体辅助收集法；  气体辅助收集法；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状第374-380页

关键词: 面内伸缩模态谐振器；  谐振频率；  品质因子；  温度稳定性；  动态电阻；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

高线密度X射线双光栅的研制第381-385页

关键词: x射线双光栅；  自支撑透射光栅；  电子束光刻；  纳米电镀；  

TMAH＋Triton中Si湿法腐蚀机理研究现状第386-393页

关键词: 各向异性湿法腐蚀；  triton；  表面活性剂吸附；  腐蚀速率；  

碱性阻挡层抛光液各成分对CMP的影响第394-398页

关键词: 碱性阻挡层抛光液；  去除速率；  选择性；  碟形坑；  蚀坑；  

不同磨料质量分数对化学机械平坦化的影响第399-403页

关键词: 抛光速率；  膜厚一致性；  碟形坑；  蚀坑；  

碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估第404-408页

关键词: 碱性铜抛光液；  去除速率；  高低差；  平坦化；  

第十二届固态和集成电路技术国际会议 第一次征文通知第409-410页

关键词: 集成电路技术；  国际会议；  征文通知；  固态；  integrated；  circuit；  ieee；  sscs；