微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2014年第09期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

石墨烯谐振器的研究进展第550-559页

关键词: 石墨烯；  谐振器；  品质因数；  纳米级别；  碳纳米管；  

微纳电子技术杂志材料与结构

形貌可控的CdS微米／纳米结构的表征和发光性能第560-564页

关键词: cds纳米带；  cds纳米棒；  cds微米柱；  热蒸发；  发光性能；  

磁场下磁性液滴拉伸、移动和分裂现象及分析第571-575页

关键词: 磁性液滴；  磁场；  拉伸；  移动；  分裂；  换向频率；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器第583-587页

关键词: 氧化铝陶瓷；  无线耦合；  压力测试；  谐振频率；  灵敏度；  

一种低成本高效率气动式微流控混合器第588-592页

关键词: 主动式微流控混合器；  微流控芯片；  微机械加工；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

新型碱性阻挡层抛光液的研究第598-604页

关键词: 碱性阻挡层抛光液；  去除速率；  磨料；  螯合剂；  

阻挡层CMP中表面活性剂对抛光效果的影响第605-609页

关键词: 表面活性剂；  阻挡层；  速率选择性；  碟形坑；  粗糙度；  

4H-SiC（0001）硅面原子级平整抛光方法第610-614页

关键词: 表面粗糙度；  原子台阶构型；  原子级平整；  

第一次征文通知——第十二届固态和集成电路技术国际会议http：／／www．ICSICT．com 2014年10月28—31日，桂林第615-616页

关键词: 集成电路技术；  国际会议；  http；  征文通知；  固态；  桂林；  integrated；