微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2014年第10期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志材料与结构

铝诱导多晶硅薄膜籽晶层的电学性质第623-627页

关键词: 铝诱导；  多晶硅薄膜；  籽晶层；  择优取向；  掺杂；  

CoFe/Cu/MgAl2O4（001）/CoFe磁性隧道结的隧穿磁电阻效应第628-633页

关键词: mgal2o4势垒；  非磁性cu层；  第一性原理；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

数值模拟毛细管通道中微粒的介电泳分离第649-654页

关键词: 微通道；  受力分析；  微粒分离；  数值模拟；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

湿度对UV-FAIMS基于谱峰位置的谱图识别影响第655-658页

关键词: 湿度；  谱图识别；  

薄膜材料杨氏模量测量方法的研究进展第659-665页

关键词: 薄膜材料；  微观结构；  杨氏模量；  共振法；  纳米压痕法；  

纳米压印用压印胶的研究进展第666-672页

关键词: 纳米压印；  紫外压印胶；  热压印胶；  脱模性；  表面能；  

DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计第673-678页

关键词: 无掩模光刻；  数字光刻；  数据管理；  调焦；  对准；  

第一次征文通知 第十二届固态和集成电路技术国际会议第684-684页

关键词: 集成电路技术；  国际会议；  征文通知；  固态；  integrated；  circuit；  ieee；  sscs；