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微纳电子技术 2015年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

典型MEMS和可穿戴传感技术的新发展第1-13页

关键词: mems加速度计；  mems陀螺仪；  rf；  mems；  可穿戴传感；  mems麦克风；  

微纳电子技术杂志器件与技术

Josephson环耦合量子细胞神经网络混沌动力学分析第14-19页

关键词: josephson环；  分岔；  混沌；  

微纳电子技术杂志材料与结构

S/TiO2纳米复合材料在锂硫电池中的应用第20-24页

关键词: 纳米复合材料；  硫；  二氧化钛；  锂电池；  电化学性能；  

PbS QD-MWCNT异质结材料合成与光学特性第25-30页

关键词: 纳米复合材料；  光学特性；  光生载流子；  

掺杂ZnO厚膜对丙酮气敏特性的影响第31-36页

关键词: zno厚膜；  化学共沉淀法；  丙酮；  气敏特性；  

中心掺杂单缺陷层一维光子晶体带隙缺陷特性第37-41页

关键词: 单缺陷层；  折射率值；  基本周期层数；  缺陷特性；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

MEMS仿生矢量水听器二次集成的误差分析测试第42-48页

关键词: 矢量水听器；  纤毛；  二次集成；  ansys；  对称性；  灵敏度；  

一种双稳态电磁型MEMS开关第49-53页

关键词: 开关；  双稳态；  平面线圈；  电磁场；  牺牲层；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

SiC材料的NLD快速均匀刻蚀第54-58页

关键词: 刻蚀；  均匀性；  

4H-SiC材料在SF6/O2/HBr中的ICP-RIE干法刻蚀第59-63页

关键词: 微沟槽效应；  刻蚀速率；  

一种有效去除CMP后铜表面CuO颗粒的清洗剂第64-68页

关键词: cuo颗粒；  清洗剂；  颗粒去除；  表面活性剂；