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微纳电子技术 2015年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

典型MEMS和可穿戴传感技术的新发展（续）第69-74页

关键词: 传感技术；  mems；  传感器件；  佩戴者；  睡眠效率；  电路集成；  数据上传；  皮肤温度；  应用技术；  距离和；  

微纳电子技术杂志器件与技术

一种高压4H-SiC二极管改进场限环结终端结构第75-79页

关键词: 结终端；  碳化硅二极管；  击穿电压；  器件仿真；  

太赫兹量子级联激光器注入区结构研究第80-84页

关键词: 隧穿；  透射率；  波函数；  能级；  

微纳电子技术杂志材料与结构

用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究第85-88页

关键词: 微半球孔阵列；  抗反射；  反射率；  离子束刻蚀；  薄膜太阳电池；  

硅基微结构上的聚吡咯功能薄膜均匀性研究第89-92页

关键词: mems超级电容器；  功能薄膜；  扫描速度；  均匀性；  

退火温度对ZnO薄膜结晶和折射率的影响第93-97页

关键词: zno薄膜；  磁控溅射；  退火；  缺陷；  晶粒尺寸；  折射率；  

Si基Er2O3薄膜初始生长的原位RHEED和AES研究第98-102页

关键词: er2o3；  高k材料；  界面演变；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器第103-107页

关键词: 压电式；  电磁式；  振动能；  能量采集器；  

低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法第108-112页

关键词: 压阻；  加速度传感器；  汽车碰撞；  谐振频率；  阻尼比；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

原子层沉积技术制备金属材料的进展与挑战第113-122页

关键词: 金属薄膜；  反应和生长机理；  前驱体；  成核；  

金刚石颗粒与硅基底的超声焊接及场发射性能（英文）第123-128页

关键词: 超声纳米焊接；  场发射阴极；  金刚石颗粒；  硅；  场发射；  

抛光压力对PS/CeO2纳米复合磨粒抛光性能的影响第129-134页

关键词: 氧化铈；  复合磨料；  核壳结构；  

中国电科十三所当选中国半导体行业协会MEMS分会理事长单位第135-135页

关键词: 理事长单位；  mems；  苏州工业园；  杨知；  樊元；  科技发展；  封装测试；  副所长；  新兴产业；  人才集聚；  

微光刻领域的标准化及学术交流第136-136页

关键词: 半导体设备；  技术委员会；  标准化工作；  学术交流；  光刻技术；  技术组织；  标准制定工作；  行业标准；  技术标准化；  微纳米；