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微纳电子技术 2015年第04期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

高功率半导体开关器件DSRD的研究进展第211-215页

关键词: 高功率半导体开关器件；  超宽带；  脉冲技术；  等离子体波；  

微纳电子技术杂志材料与结构

利用光学微腔提高石墨烯的光吸收效率第216-220页

关键词: 石墨烯；  光吸收效率；  光学微腔；  传输矩阵法；  斜入射；  增强；  

热注射法合成CuxS及光降解亚甲基蓝溶液第221-225页

关键词: 热注射法；  cuxs；  亚甲基蓝；  光催化；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

静电驱动柔性振膜的吸合特性研究第226-232页

关键词: 静电驱动；  柔性振膜；  吸合特性；  完全吸合电压；  非中心对称；  

一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器第233-239页

关键词: sic；  压力传感器；  高温；  ansys软件；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

面向可控自组装的DNA纳米管可编程AFM操作第240-245页

关键词: afm操作；  纳米机器人；  dna折纸术；  dna纳米管；  

高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用第246-250页

关键词: x射线光刻；  单级衍射光栅；  光谱优化；  掩模校正；  曝光间隙控制；  

微流控芯片上电晕放电式大气颗粒物检测方法第251-255页

关键词: 微流控芯片；  电晕放电；  大气颗粒物；  电流信号；  检测；  

基于紫外厚胶的探针加工工艺第256-260页

关键词: 探针；  坐标测量机；  折射率补偿；  

RF偏置功率对磁控溅射AlN薄膜性能的影响第261-265页

关键词: 氮化铝薄膜；  反应磁控溅射；  择优取向；  表面形貌；  

TSV立体集成用Cu/Sn键合工艺第266-270页

关键词: 低温键合；  等温凝固扩散；  三维集成；  

第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知第270-270页

关键词: 中国电子科技集团公司；  学术研讨会；  技术交流；  科技信息服务；  专用集成电路；  主办单位；  行业协会；  重点实验室；  

第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知第271-272页

关键词: 专用集成电路；  中国电子科技大学；  征稿通知；  国际；  主办单位；  ieee；  中国电子学会；  复旦大学；