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微纳电子技术 2015年第10期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

石墨烯材料、器件与电路的研究现状第613-619页

关键词: 石墨烯；  sic外延生长；  逻辑器件；  

微纳电子技术杂志器件与技术

天然色素染料敏化的太阳电池性能第620-623页

关键词: tio2薄膜；  天然染料；  太阳电池；  染料敏化；  线性叠加；  

微纳电子技术杂志材料与结构

In2O3亚微空心球制备及其光催化与电化学性能第629-632页

关键词: in2o3；  亚微空心球；  水热制备；  光催化性能；  电化学性能；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

不同拓扑衍生结构微混合器的仿真与分析第633-638页

关键词: 微流体混合器；  雷诺数；  扩展腔；  方波型；  有限元方法；  

圆片级封装中硅帽的设计和加工第649-653页

关键词: 硅帽；  引线；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术第654-659页

关键词: 毫米波；  noa73；  电磁性能；  软光刻；  

薄膜体声波谐振器的测试与表征第660-665页

关键词: 品质因数；  有效机电耦合系数；  射频探针台；  矢量网络分析仪；  低阻硅；  

KIO4和FA/O螯合剂对铜钌CMP的影响第666-670页

关键词: 抛光液；  去除速率；  氧化剂；  电偶腐蚀；  

CMP中新型碱性阻挡层抛光液的性能第671-675页

关键词: 阻挡层；  选择比；  稳定性；  清洗；  

真空提纯对n型高阻区熔硅单晶研制的影响第676-680页

关键词: 真空提纯；  n型；  高阻；  硅单晶；