微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2015年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

纳米尺度相变存储器小型化研究进展第749-756页

关键词: 小型化；  器件结构；  电极材料；  操作电流；  

微纳电子技术杂志材料与结构

Zn∶NiO纳米线的制备及其光催化活性第757-760页

关键词: 化学还原法；  光催化活性；  甲基橙；  降解；  

ICPECVD法低温制备氧化硅薄膜的致密性第761-764页

关键词: 氧化硅薄膜；  正交试验；  低温；  致密性；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器第765-769页

关键词: 热电偶；  真空度；  双层多晶硅；  灵敏度；  

用于Lamé模态方块谐振器的压控电流源模型第770-778页

关键词: 压控电容；  非线性；  微机械谐振器；  等效参数；  

二自由度双稳态振动能量采集器输出性能分析第779-785页

关键词: 振动能量采集器；  弱振幅；  自由度；  动态响应；  振动特性；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工第786-790页

关键词: 微细加工；  准分子激光；  x光光刻；  x光掩膜板；  

螯合剂在TSV CMP中对铜膜抛光效果的影响第791-794页

关键词: 螯合剂；  碱性抛光液；  去除速率；  粗糙度；  

硅基磁性纳米SiO2微球的制备与表征第795-799页

关键词: stober法；  室温磁性；  sio2微球；  化学传感器；  

基于硅基图形衬底的Ⅲ-Ⅴ族材料异质生长第800-810页

关键词: 硅基图形衬底；  微通道外延；  选区生长；  纳米结构；  

碱性清洗液中pH值对苯并三氮唑去除效果的影响第811-814页

关键词: cmp后清洗；  碱性螯合剂；  接触角；  电化学；  

第一次征文通知 第十三届固态和集成电路技术国际会议第815-816页

关键词: 集成电路技术；  国际会议；  征文通知；  固态；  integrated；  circuit；  ieee；  复旦大学；