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微纳电子技术 2016年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

光学涡旋的研究进展第69-77页

关键词: 光学涡旋；  螺旋相位；  相位奇点；  螺旋相位板；  光学涡旋孤子；  光学操控；  

人体能量收集的研究现状第78-86页

关键词: 人体；  能量收集；  可穿戴集能器；  电子设备；  能量；  

微纳电子技术杂志器件与技术

Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的研究进展第87-97页

关键词: 晶体管；  垂直结构；  水平结构；  硅基衬底；  

微纳电子技术杂志材料与结构

NiO纳米线阵列紫外光电特性第98-101页

关键词: 紫外光探测器；  纳米线阵列；  紫外光电效应；  响应度；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于PMMA的微流控芯片的微液滴制备与控制第108-113页

关键词: 微流控芯片；  微液滴；  t型微通道；  聚酯膜；  分裂；  

基于单根银纳米线的光敏传感器第114-118页

关键词: 银纳米线；  镍银异质结构；  水力聚焦法；  微流体芯片；  光电流强度；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

ZnO纳米管薄膜的制备及其光催化特性第124-128页

关键词: zno；  纳米管；  酸碱腐蚀法；  光致发光；  光催化；  

铝栅去除速率控制机理第129-134页

关键词: 铝栅；  去除速率；  抛光液；