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微纳电子技术杂志

微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

主管单位:中国电子科技集团公司  主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所

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微纳电子技术 2016年第09期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术
超薄埋氧层FDSOI器件制备及其性能测试第565-570页
关键词: 器件制备;  背栅偏压;  
微纳电子技术杂志材料与结构
MPCVD生长半导体金刚石材料的研究现状第571-581页
关键词: 金刚石;  宽禁带;  同质外延生长;  掺杂;  
单晶硅微结构表面的制备及其减反射性能第582-587页
关键词: 单晶硅;  微结构表面;  聚苯乙烯胶体晶体;  反应离子刻蚀;  等离子体刻蚀;  减反射;  
微纳电子技术杂志MEMS与传感器
SnO2基CO传感器敏感膜的电阻变化机理第588-593页
关键词: 第一性原理;  sno2;  pd掺杂;  吸附能;  敏感机理;  气敏性能;  
微流控芯片上光纤激光对细胞的作用机理第594-598页
关键词: 微流控芯片;  细胞;  光纤;  激光;  
微纳电子技术杂志加工、测量与设备
硅基微光学平台的设计和制作第599-604页
关键词: 微光学平台;  硅基;  微光学夹持片;  微光学基板;  微型化;  
原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺第605-609页
关键词: zno薄膜;  电学性质可调;  晶型;  表面形貌;  
碳辅助法制备Mn3O4纳米颗粒第610-615页
关键词: 四氧化三锰;  脱脂棉;  碳辅助法;  
硅基超疏水跨尺度微纳结构的制备第616-622页
关键词: 衍射干涉;  理论分析;  跨尺度结构;  超疏水性能;  
用于最新技术节点Ge和SiGe的CMP技术研究进展第623-629页
关键词: 锗;  锗化硅;  14;  nm技术节点;  沟道材料;  
旋转工艺对高阻区熔硅单晶研制的影响第630-633页
关键词: 旋转工艺;  硅单晶;  高阻;  高均匀性;  
第一次征文通知 第十三届固态和集成电路技术国际会议第634-635页
关键词: 集成电路技术;  国际会议;  征文通知;  固态;  integrated;  circuit;  ieee;  复旦大学;  
第十届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会(CSDD)第九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会成功召开第636-636页
关键词: 半导体分立器件;  学术研讨会;  行业协会;  技术交流;  中国;  电子;  年会;  半导体行业;