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微纳电子技术杂志

微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

主管单位:中国电子科技集团公司  主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所

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微纳电子技术 2016年第10期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术
热应力对碳纳米管增强纳米开关的影响第637-644页
关键词: 热应力;  碳纳米管增强复合材料;  纳米开关;  吸合电压;  卡西米尔力;  
微纳电子技术杂志材料与结构
叶片状Co3O4的制备及其电化学性能第645-651页
关键词: 三维叶片状co3o4;  泡沫镍;  水热法;  电化学性能;  超级电容器;  
量子点对活体细胞毒性作用的研究进展第652-657页
关键词: 活体细胞;  细胞毒性;  镉系量子点;  表面物化特性;  微环境;  
微纳电子技术杂志MEMS与传感器
基于离心微流技术的阵列化检测芯片第658-662页
关键词: 阵列化;  离心力;  微流控;  comsol;  
可调节细胞位姿的显微注射芯片设计及其分析第663-671页
关键词: 细胞;  显微注射;  姿态调节;  介电泳;  微流体;  
利用介电电泳提高微流控芯片细胞捕获纯度第672-678页
关键词: 微流控芯片;  生物分子亲和性;  细胞捕获;  纯度;  
微纳电子技术杂志加工、测量与设备
超精密表面形貌光学测量系统第679-684页
关键词: 白光干涉测量;  共聚焦测量;  协调控制;  三维重构;  表面形貌测量;  
大高宽比微纳结构制备关键技术第685-690页
关键词: hsq;  电子束光刻;  抗蚀剂工艺;  co2超临界干燥;  大高宽比结构;  
溅射温度对Love波器件ZnO波导层性能的影响第691-695页
关键词: love波器件;  波导层;  溅射温度;  zno;  微观结构;  
新型碱性抛光液化学作用对铜的去除机理第696-701页
关键词: 抛光速率;  腐蚀速率;  电化学;  钝化动力学;  
新型碱性抛光液对Si晶圆抛光速率的优化第702-706页
关键词: 碱性抛光液;  si晶圆;  抛光速率;  硅溶胶研磨料;  
中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第706-706页
关键词: 连续功率;  激光打标;  脉冲功率;  近红外波段;  汽车防撞;  产品推介;  激光雕刻;  平均功率;  脉冲宽度;  使用参数;  
第一次征文通知 第十三届固态和集成电路技术国际会议第707-708页
关键词: 集成电路技术;  国际会议;  征文通知;  固态;  integrated;  circuit;  ieee;  复旦大学;