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微纳电子技术 2016年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

总线制8量子比特超导量子计算芯片设计与仿真第781-786页

关键词: 超导量子计算芯片；  量子比特；  量子总线；  共面波导谐振腔；  版图；  

微纳电子技术杂志材料与结构

多孔硅复合材料的制备与应用研究进展第787-796页

关键词: 多孔硅复合材料；  沉积方法；  电镀法；  无电沉积法；  沉积物形貌；  

硅微通道板电沉积Fe-Ni微米线阵列结构及磁性能第797-800页

关键词: 电沉积；  铁镍合金；  磁微米线阵列；  磁滞回线；  

基于硅微通道板的NiFeP磁微米线阵列制备及软磁性能第801-806页

关键词: 磁微米线阵列；  镍铁磷；  软磁性；  真空化学镀；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

梯级针肋硅基微通道流动沸腾稳定性实验第807-815页

关键词: 微通道；  梯级针肋；  流动沸腾；  稳定性；  充满比；  集中参数法；  

谐振式光纤陀螺的温度特性第816-821页

关键词: 温度效应；  标度因数；  零偏；  谐振式光纤陀螺；  噪声；  光纤环；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于Arrhenius方程研究活性剂对铜CMP粗糙度的影响第822-827页

关键词: 非离子活性剂；  表面粗糙度；  活化能；  接触角；  

H2O2基电解液的pH值对铜钌电偶腐蚀的影响第828-832页

关键词: 钌；  铜；  电化学；  电偶腐蚀；  ph；  

硅通孔的应力评价第833-837页

关键词: 光弹法；  应力；  红外光弹系统；  有限元分析；  

掺硼质量浓度对BDD电极电化学特性的影响第838-841页

关键词: 掺硼金刚石电极；  电势窗口；  析氧电位；  掺硼质量浓度；  

回流气氛对无助焊剂倒装焊焊点气孔的影响第842-845页

关键词: 无助焊剂倒装焊；  甲酸；  真空；  气孔；  内部气氛；  

LED制备中剥离技术的研究进展第846-852页

关键词: 剥离；  led；  散热；  可靠性；  使用寿命；