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微纳电子技术 2017年第01期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

微系统三维集成技术的新发展第1-10页

关键词: 微系统；  3d集成；  成像传感；  光集成；  惯性传感；  生物；  多核逻辑电路；  芯片上网络；  可靠性；  异构集成；  

微纳电子技术杂志器件与技术

微结构对单根Ni/NiO核壳纳米线器件阻变性能的影响第11-15页

关键词: 阻变存储器；  微结构；  退火温度；  热处理；  

微纳电子技术杂志材料与结构

球形TiO2-ZnO复合纳米颗粒的合成、表征及光催化性能第16-20页

关键词: zno；  tio2；  复合纳米颗粒；  光催化；  

MBE制备GaN纳米柱阵列的光学特性第21-25页

关键词: gan纳米柱阵列；  反射光谱；  光致发光光谱；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于声表面波驱动器的液体单方向驱动第26-30页

关键词: 单向声表面波；  阻抗分析；  传播分析；  剥离工艺；  单向驱动；  

微型超级电容器的电化学阻抗谱分析第31-37页

关键词: 微型超级电容器；  电容；  接触电阻；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

GaAs基多结太阳电池TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜的设计与制备第38-42页

关键词: gaas基多结太阳电池；  反射谱；  电子束蒸发；  有效反射率；  

室温纳米压印制备中的共性关键工艺问题第43-47页

关键词: 室温纳米压印；  光刻胶剩余；  图形转移技术；  纳米刻蚀；  亚波长光栅；  

超精度石英玻璃的化学机械抛光第48-52页

关键词: 集成电路；  石英玻璃；  表面粗糙度；  去除速率；  

湿度对离子迁移谱性能影响的数值模拟第53-57页

关键词: 数值模拟；  湿度；  分辨率；  fluent；  

不同粒径硅溶胶磨料对Cu CMP的综合影响第58-64页

关键词: 磨料粒径；  机械作用；  质量传递；  平坦化性能；  

不同pH值下过氧化氢对Ru的CMP的影响第65-70页

关键词: 阻挡层；  ru；  ph值；  

征稿通知 第12届国际专用集成电路会议第71-71页

关键词: 专用集成电路；  国际论坛；  征稿通知；  vlsi电路；  eda工具；  制造厂商；  ieee；  

全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2016年会在重庆召开第72-72页

关键词: 标准化技术委员会；  半导体设备；  技术交流会；  微光刻；  重庆市；  材料；  年会；  中国科学院；