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微纳电子技术杂志

微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

主管单位:中国电子科技集团公司  主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所

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微纳电子技术 2017年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛
微系统三维集成技术的新发展(续)第73-79页
微纳电子技术杂志器件与技术
4H-SiC和6H-SiC功率VDMOSFET的单粒子烧毁效应第80-85页
关键词: seb阈值电压;  二维器件仿真;  
微纳电子技术杂志材料与结构
氧化锡纳米球的合成及其对氢气的气敏特性第86-90页
关键词: 溶剂热法;  sno2纳米球;  氢气;  气敏特性;  气体传感器;  
快速退火处理Au催化剂对β-Ga2O3纳米线阵列的影响第91-95页
关键词: 氧化镓;  催化剂;  纳米线阵列;  光致发光;  自陷激子;  
微纳电子技术杂志MEMS与传感器
LC温度传感器的高温性能优化与设计第96-100页
关键词: 无线无源;  lc温度传感器;  品质因数;  高温;  谐振频率;  
WO3与CH3NH3PbI3钙钛矿制备的敏感器件的敏感特性第101-106页
关键词: ch3nh3pbi3钙钛矿;  wo3纳米粉末;  气敏传感器;  氨气;  光敏性;  
微纳电子技术杂志加工、测量与设备
反应扩散刻蚀制备太阳电池表面陷光结构第107-112页
关键词: 太阳电池;  减反特性;  反应扩散刻蚀;  陷光结构;  反射率;  
基于MIMU测量系统的两步校准法第113-119页
关键词: 姿态解算;  椭球拟合;  四位置法;  误差解算;  
GLSI铜布线碱性抛光液中磨料的稳定性第120-124页
关键词: 硅溶胶;  dlvo理论;  zeta电位;  稳定性;  
《微纳电子技术》第124-页
4H-SiC常温Al离子注入技术第125-130页
关键词: 碳化硅;  离子注入;  注入损伤;  喇曼光谱;  欧姆接触;  
基于4H-SiC压敏电阻的同质外延工艺第131-135页
关键词: 同质外延;  喇曼光谱;  
硅基锗薄膜的选择性外延生长第136-141页
关键词: 选择性外延;  硅基探测器;  光电器件;  
中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第141-页
征稿通知 第12届国际专用集成电路会议第142-143页