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微纳电子技术 2017年第03期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

应变调制型多铁异质结器件的HSpice电路建模第145-149页

关键词: 应变调制多铁异质结；  hspice；  转换特性；  磁化强度；  

微纳电子技术杂志材料与结构

金刚石在未来电网中的应用展望第150-156页

关键词: 金刚石；  电网；  材料制备；  电力电子器件；  

Cl掺杂Cu2O的第一性原理计算第157-161页

关键词: cl掺杂；  第一性原理；  能带结构；  态密度；  吸收系数；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

三明治式介电泳细胞富集芯片的优化设计与实现第162-167页

关键词: 叉指电极；  三明治式芯片；  电场仿真；  介电泳；  

微流体内基于水力聚焦的单细胞流形成的仿真第168-172页

关键词: 水力聚焦；  微流控芯片；  comsol；  multiphysics仿真；  微通道；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

室温纳米压印制备多尺度金碗-金豆纳米天线阵列第173-180页

关键词: 多尺度纳米刻蚀；  室温纳米压印；  双层抗刻蚀剂；  微相分离；  

化学气相沉积法制备单层石墨烯的优化第181-187页

关键词: 石墨烯；  表征；  单层；  大面积；  

新型碱性清洗液对铝栅CMP后硅溶胶的去除第188-193页

关键词: 碱性清洗液；  硅溶胶；  螯合剂；  活性剂；  非均匀腐蚀；  

碱性抛光液中螯合剂对Cu/Ta电偶腐蚀的影响第194-201页

关键词: 铜；  钽；  电偶腐蚀；  螯合剂；  

NaClO和FA/OⅠ螯合剂对Ru和Cu的CMP影响第202-207页

关键词: 集成电路；  新型阻挡层；  ru；  ph值；  

β-Ga2O3（100）面的CMP研究及优化第208-212页

关键词: 氧化镓；  抛光液；  平坦化；  硅溶胶；  

中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第213-213页

关键词: 激光二极管阵列；  近红外波段；  产品推介；  峰值功率；  光纤耦合；  准连续；  汽车防撞；  谱宽；  联系方式；  信息产业园；  

征稿通知 第12届国际专用集成电路会议第214-215页

关键词: 专用集成电路；  程序委员会；  顾问委员会；  优秀学生论文；  器件技术；  中国电子学会；  电子工程师；  北京分会；  电路设计技术；  

第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知（第一轮）第216-216页

关键词: 微纳电子技术；  会议通知；  学科交叉渗透；  大会主题报告；  新兴产业；  详细联系方式；  未来技术；  发展动态；  中文核心期刊；  科研人员；