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微纳电子技术 2017年第07期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

基于CVD单层MoS2 FET的光电探测器第437-443页

关键词: 光电探测器；  

中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第443-443页

关键词: 中国电子科技集团公司；  半导体激光器；  研究所；  产品推介；  激光二极管阵列；  光纤激光器；  固态激光器；  近红外波段；  

微纳电子技术杂志材料与结构

Fe2O3-rGO/MoS2复合材料的制备及其电化学特性第444-450页

关键词: 石墨烯；  二硫化钼；  氧化铁；  亚硝酸盐；  电化学传感器；  

富勒烯纳米流体在石墨烯纳米孔隙中的边界滑移特性第451-457页

关键词: 富勒烯纳米流体；  石墨烯；  couette流；  边界滑移；  分子动力学；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

ZnO修饰多针-板结构负电晕放电气体传感器第458-464页

关键词: 负电晕放电；  硅尖阵列；  zno修饰；  气体传感器；  

基于MEMS技术的光泵原子磁力仪发展与应用第465-471页

关键词: 原子磁力仪；  磁传感器；  mems集成；  灵敏度；  碱金属原子气室；  光泵浦；  拉莫尔频率；  

电容式加速度传感器设计及工艺加工第472-478页

关键词: 电容式加速度传感器；  高过载；  湿法腐蚀；  电镀工艺；  灵敏度；  

MEMS环形振动陀螺结构设计与仿真分析第479-484页

关键词: 环形振动陀螺；  振动特性；  有限元分析；  工作模态；  模态分析；  

水平固体表面温度梯度下硅油液滴运动第485-491页

关键词: 微流体；  液滴水平运动；  温度梯度；  表面张力；  接触角；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

阻挡层CMP中铜钴电偶腐蚀的影响因素第492-498页

关键词: 钴；  铜；  电化学；  电偶腐蚀；  h2o2；  

碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料第499-504页

关键词: 掩膜图形化；  选择比；  刻蚀形貌；  

征稿通知 第12届国际专用集成电路会议第505-506页

关键词: 专用集成电路；  国际论坛；  征稿通知；  vlsi电路；  asic；  制造厂商；  工艺设计；  

第十一届中国半导体行业协会半导体分立器件年会暨2017’中国半导体器件创新产品与应用及产业发展论坛第一轮会议通知第507-507页

关键词: 中国电子科技集团公司；  半导体分立器件；  半导体器件；  行业协会；  创新产品；  西安电子科技大学；  中华人民共和国；  论坛；  

第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知（第一轮）第508-508页

关键词: 纳电子技术；  学术研讨会；  技术交流；  中国；  学科交叉渗透；  高新技术；  新兴产业；  技术更新；